公开(公告)号：CN101467051A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780021141.X

申请日：2007-06-04

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 佐佐木俊辅 ,  井沼毅 ,  山田佳男 ,  长屋光浩 ,  赤尾崇 ,  中山浩志

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07378

Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。

公开(公告)号：CN101496156A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200780028610.0

申请日：2007-07-26

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 山田佳男 ,  中山浩志 ,  长屋光浩 ,  井沼毅 ,  赤尾崇

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R1/07307

Abstract: 本发明提供一种即使探针板的安装基准面和作为检查对象的晶片的表面失去平行度，也能够使该探针板保持的探针相对于晶片同样地进行接触的探针板的平行度调整机构。为了该目的，设有构成倾斜度变更机构的至少一部分的调整螺钉(22)，所述倾斜度变更机构用于对保持多个探针(1)的探针板(101)相对于晶片(31)的平行度进行调整，从而变更探针板(101)相对于安装探针板(101)的探测器(201)的安装基准面(S1)的倾斜度，所述探针(1)将作为检查对象的晶片(31)和生成检查用的信号的电路构造之间电连接。

公开(公告)号：CN101755216B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200880025240.X

申请日：2008-07-16

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 山田佳男 ,  中山浩志 ,  井沼毅 ,  赤尾崇

IPC: G01R1/073 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07371

Abstract: 本发明提供一种探针卡，其可提升用以收容使电路构造间电连接的探针的探针头相对于预定基准面的平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的，探针卡具备：探针头(15)，用以保持多支探针；平板状布线基板(11)，具有对应电路构造的布线图案；插入件(interposer)(13)，层叠于布线基板(11)，用以转接布线基板(11)的布线；空间变换器(SpaceTransformer)(14)，被夹设于插入件(13)与探针头(15)之间，用以变换插入件(13)转接的布线间隔，并将经此变换后的布线露出于与探针头(15)相对的表面上；以及多个柱构件(18)，形成具有高度比布线基板(11)的板厚与插入件(13)的板厚之和还大的大致柱状，向布线基板(11)与插入件(13)的板厚方向贯穿并埋设于布线基板及插入件中，上述多个柱构件的一方的底面抵接于空间变换器(14)。

公开(公告)号：CN101755216A

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200880025240.X

申请日：2008-07-16

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 山田佳男 ,  中山浩志 ,  井沼毅 ,  赤尾崇

IPC: G01R1/073 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07371

Abstract: 本发明提供一种探针卡，其可提升用以收容使电路构造间电连接的探针的探针头相对于预定基准面的平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的，探针卡具备：探针头(15)，用以保持多支探针；平板状布线基板(11)，具有对应电路构造的布线图案；插入件(interposer)(13)，层叠于布线基板(11)，用以转接布线基板(11)的布线；空间变换器(SpaceTransformer)(14)，被夹设于插入件(13)与探针头(15)之间，用以变换插入件(13)转接的布线间隔，并将经此变换后的布线露出于与探针头(15)相对的表面上；以及多个柱构件(18)，形成具有高度比布线基板(11)的板厚与插入件(13)的板厚之和还大的大致柱状，向布线基板(11)与插入件(13)的板厚方向贯穿并埋设于布线基板及插入件中，上述多个柱构件的一方的底面抵接于空间变换器(14)。

公开(公告)号：CN101467051B

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN200780021141.X

申请日：2007-06-04

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 佐佐木俊辅 ,  井沼毅 ,  山田佳男 ,  长屋光浩 ,  赤尾崇 ,  中山浩志

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07378

Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。

公开(公告)号：CN101496156B

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200780028610.0

申请日：2007-07-26

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 山田佳男 ,  中山浩志 ,  长屋光浩 ,  井沼毅 ,  赤尾崇

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R1/07307

Abstract: 本发明提供一种即使探针板的安装基准面和作为检查对象的晶片的表面失去平行度，也能够使该探针板保持的探针相对于晶片同样地进行接触的探针板的平行度调整机构。为了该目的，设有构成倾斜度变更机构的至少一部分的调整螺钉(22)，所述倾斜度变更机构用于对保持多个探针(1)的探针板(101)相对于晶片(31)的平行度进行调整，从而变更探针板(101)相对于安装探针板(101)的探测器(201)的安装基准面(S1)的倾斜度，所述探针(1)将作为检查对象的晶片(31)和生成检查用的信号的电路构造之间电连接。