-
公开(公告)号：CN101467051A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780021141.X
申请日：2007-06-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。
-
公开(公告)号：CN101755216A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200880025240.X
申请日：2008-07-16
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/06722 , G01R1/07371
Abstract: 本发明提供一种探针卡，其可提升用以收容使电路构造间电连接的探针的探针头相对于预定基准面的平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的，探针卡具备：探针头(15)，用以保持多支探针；平板状布线基板(11)，具有对应电路构造的布线图案；插入件(interposer)(13)，层叠于布线基板(11)，用以转接布线基板(11)的布线；空间变换器(SpaceTransformer)(14)，被夹设于插入件(13)与探针头(15)之间，用以变换插入件(13)转接的布线间隔，并将经此变换后的布线露出于与探针头(15)相对的表面上；以及多个柱构件(18)，形成具有高度比布线基板(11)的板厚与插入件(13)的板厚之和还大的大致柱状，向布线基板(11)与插入件(13)的板厚方向贯穿并埋设于布线基板及插入件中，上述多个柱构件的一方的底面抵接于空间变换器(14)。
-
公开(公告)号：CN113167815B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201980078263.5
申请日：2019-11-26
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明的探针单元，包括：第一接触探针，其与信号用电极接触；第二接触探针，其与基准电位用电极接触；探针保持部，其形成有插通第一接触探针的第一保持孔、及插通第二接触探针的第二保持孔；以及导电性的可动部件，其形成有从一端侧插入第一接触探针的一端部且从另一端侧插入接触对象的电极的第一贯通孔、及从一端侧插入第二接触探针的一端部且从另一端侧插入基准电位用电极的第二贯通孔，其中探针单元构成为第一接触探针的中心轴与可动部件的第一贯通孔的中心轴一致的同轴结构。
-
公开(公告)号：CN113167815A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980078263.5
申请日：2019-11-26
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明的探针单元，包括：第一接触探针，其与信号用电极接触；第二接触探针，其与基准电位用电极接触；探针保持部，其形成有插通第一接触探针的第一保持孔、及插通第二接触探针的第二保持孔；以及导电性的可动部件，其形成有从一端侧插入第一接触探针的一端部且从另一端侧插入接触对象的电极的第一贯通孔、及从一端侧插入第二接触探针的一端部且从另一端侧插入基准电位用电极的第二贯通孔，其中探针单元构成为第一接触探针的中心轴与可动部件的第一贯通孔的中心轴一致的同轴结构。
-
公开(公告)号：CN101755216B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200880025240.X
申请日：2008-07-16
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/06722 , G01R1/07371
Abstract: 本发明提供一种探针卡，其可提升用以收容使电路构造间电连接的探针的探针头相对于预定基准面的平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的，探针卡具备：探针头(15)，用以保持多支探针；平板状布线基板(11)，具有对应电路构造的布线图案；插入件(interposer)(13)，层叠于布线基板(11)，用以转接布线基板(11)的布线；空间变换器(SpaceTransformer)(14)，被夹设于插入件(13)与探针头(15)之间，用以变换插入件(13)转接的布线间隔，并将经此变换后的布线露出于与探针头(15)相对的表面上；以及多个柱构件(18)，形成具有高度比布线基板(11)的板厚与插入件(13)的板厚之和还大的大致柱状，向布线基板(11)与插入件(13)的板厚方向贯穿并埋设于布线基板及插入件中，上述多个柱构件的一方的底面抵接于空间变换器(14)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115335708A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202180022852.9
申请日：2021-03-17
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明的探针单元具有：多个第一接触探针，其分别在长度方向上的一个端部侧与接触对象的电极接触；第二接触探针，其与外部的接地连接；探针座，其保持第一接触探针和第二接触探针，其中，探针座中形成有：第一中空部，其插入并保持第一接触探针；第二中空部，其插入并保持第二接触探针；通孔，其设置在第一中空部的周围，且探针座具有导电部，该导电部构成通孔，且将该通孔与第二接触探针电连接。
-
公开(公告)号：CN113167814A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980078262.0
申请日：2019-11-26
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明的探针单元包括：多个第一接触探针，其与接触对象的电极分别接触；第二接触探针，其连接基准电位；信号用管，其设置在第一接触探针周围；基准电位部件，其与信号用管之间形成空气层；探针保持部，其具有板状的第一及第二部件，第一及第二部件保持第一及第二接触探针、信号用管以及基准电位部件的各一端部；第一配线部，其至少设置于第一部件的表面且与第二接触探针电连接；第二配线部，其至少设置于第二部件的表面且与第二接触探针电连接；第一导电单元，其将第一配线部的表面与背面电连接；以及第二导电单元，其将第二配线部的表面与背面电连接。
-
公开(公告)号：CN101496156A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200780028610.0
申请日：2007-07-26
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/07307
Abstract: 本发明提供一种即使探针板的安装基准面和作为检查对象的晶片的表面失去平行度，也能够使该探针板保持的探针相对于晶片同样地进行接触的探针板的平行度调整机构。为了该目的，设有构成倾斜度变更机构的至少一部分的调整螺钉(22)，所述倾斜度变更机构用于对保持多个探针(1)的探针板(101)相对于晶片(31)的平行度进行调整，从而变更探针板(101)相对于安装探针板(101)的探测器(201)的安装基准面(S1)的倾斜度，所述探针(1)将作为检查对象的晶片(31)和生成检查用的信号的电路构造之间电连接。
-
公开(公告)号：CN113167814B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201980078262.0
申请日：2019-11-26
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明的探针单元包括：多个第一接触探针，其与接触对象的电极分别接触；第二接触探针，其连接基准电位；信号用管，其设置在第一接触探针周围；基准电位部件，其与信号用管之间形成空气层；探针保持部，其具有板状的第一及第二部件，第一及第二部件保持第一及第二接触探针、信号用管以及基准电位部件的各一端部；第一配线部，其至少设置于第一部件的表面且与第二接触探针电连接；第二配线部，其至少设置于第二部件的表面且与第二接触探针电连接；第一导电单元，其将第一配线部的表面与背面电连接；以及第二导电单元，其将第二配线部的表面
-
公开(公告)号：CN114646858A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202111541661.1
申请日：2021-12-16
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明提供一种可抑制噪声的测量单元。本发明的测量单元具有：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与接地部的平面同一平面上；绝缘性的介电部，设于接地部与信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与接地部接触。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.019 seconds)
