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公开(公告)号：CN101467051A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780021141.X
申请日：2007-06-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。
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公开(公告)号：CN101467051B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200780021141.X
申请日：2007-06-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。
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公开(公告)号：CN101243323A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200680030219.X
申请日：2006-08-30
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/44
Abstract: 提供一种探针卡，其具有高频的电信号的传输特性优越，成本降低，具有经济效益。为了达到该目的，其具备：多个探针，该多个探针与在作为检查对象的半导体晶片上设置的多个电极接触，进行电信号的输入或输出；探针头，该探针头收容所述多个探针；基板，该基板能够接触于所述探针头，且在与所述探针头相对向的表面的附近具有与所述多个探针连接的配线；核心层，该核心层被埋入在所述基板中，由热膨胀系数小于所述基板的热膨胀系数的原材料构成；连接机构，该连接机构经所述配线使所述多个探针的至少一部分和外部的装置电连接。
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公开(公告)号：CN101243323B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200680030219.X
申请日：2006-08-30
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/44
Abstract: 提供一种探针卡，其具有高频的电信号的传输特性优越，成本降低，具有经济效益。为了达到该目的，其具备：多个探针，该多个探针与在作为检查对象的半导体晶片上设置的多个电极接触，进行电信号的输入或输出；探针头，该探针头收容所述多个探针；基板，该基板能够接触于所述探针头，且在与所述探针头相对向的表面的附近具有与所述多个探针连接的配线；核心层，该核心层被埋入在所述基板中，由热膨胀系数小于所述基板的热膨胀系数的原材料构成；连接机构，该连接机构经所述配线使所述多个探针的至少一部分和外部的装置电连接。
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