公开(公告)号：CN101162679B

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200710180290.2

申请日：2007-10-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 山下贵敏 ,  池尻忠司 ,  田中浩平 ,  赵维江 ,  田中秀之

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 一种构成离子注入机的分析电磁石，它具有第一内线圈、第二内线圈、三个第一外线圈、三个第二外线圈和轭。内线圈是马鞍形线圈，相互合作以产生在X方向上弯曲离子束的主磁场。每一个外线圈是马鞍形线圈，其产生校正主磁场的次磁场。每一个线圈具有凹槽部分位于扇形圆柱形叠层线圈中的结构，所述叠层线圈配置如下：在迭片绝缘体的外围表面上缠绕绝缘片和导体片的迭片多匝；以及在外围表面上形成迭片绝缘体。

公开(公告)号：CN101162679A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200710180290.2

申请日：2007-10-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 山下贵敏 ,  池尻忠司 ,  田中浩平 ,  赵维江 ,  田中秀之

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 一种构成离子注入机的分析电磁石，它具有第一内线圈、第二内线圈、三个第一外线圈、三个第二外线圈和轭。内线圈是马鞍形线圈，相互合作以产生在X方向上弯曲离子束的主磁场。每一个外线圈是马鞍形线圈，其产生校正主磁场的次磁场。每一个线圈具有凹槽部分位于扇形圆柱形叠层线圈中的结构，所述叠层线圈配置如下：在迭片绝缘体的外围表面上缠绕绝缘片和导体片的迭片多匝；以及在外围表面上形成迭片绝缘体。