公开(公告)号：CN119675378A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411104317.X

申请日：2024-08-13

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 丹羽雄一 ,  小野田正敏 ,  市南幸哉 ,  久田晋也 ,  桥野义和

IPC: H02K37/24 ,  H02K7/14 ,  H02K7/10 ,  H02K7/116 ,  H02K7/06 ,  H02P8/00 ,  H02P8/24 ,  H02P8/30

Abstract: 本发明涉及一种驱动装置及真空装置，其可较熟知更缩短移动体自开始既定的移动动作起至停止为止所需要的时间。使用在真空装置(1)的驱动装置(10A)具备连接于移动体(3A的驱动构件(14A)、步进马达(11)、动力传递单元(20A)、控制步进马达(11)的控制单元(13)及将驱动构件(14A)的停止位置信息传送至控制单元(13)的编码器(18A)。控制单元(13)根据停止位置信息而进行变更所设定的驱动脉冲数的脉冲数变更处理。