公开(公告)号：CN103094028A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210236662.X

申请日：2012-07-09

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 松本武 ,  中尾和浩 ,  厚主诚

IPC: H01J27/02 ,  H01J27/08 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明提供一种离子源电极的清洁装置，可以沿构成离子源的引出电极系统的电极的宽广区域高速去除沉积物。该清洁装置包括：清洁气体源（42）等构件，向引出电极系统（10）的相互面对的两个电极（11、12）之间提供清洁气体（48），使两个电极之间的气体压力保持在发生辉光放电的气体压力；辉光放电电源（60），向两个电极（11、12）之间施加直流电压，发生辉光放电（80）。该清洁装置还包括：异常放电测量器（84），测量在规定时间内电极（11、12）之间发生异常放电的次数（N）；电源控制器（86），使用测量到的发生异常放电的次数（N）进行控制，使辉光放电电源（60）的输出电流（Ig）增减规定幅度。

公开(公告)号：CN103094028B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201210236662.X

申请日：2012-07-09

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 松本武 ,  中尾和浩 ,  厚主诚

IPC: H01J27/02 ,  H01J27/08 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明提供一种离子源电极的清洁装置，可以沿构成离子源的引出电极系统的电极的宽广区域高速去除沉积物。该清洁装置包括：清洁气体源（42）等构件，向引出电极系统（10）的相互面对的两个电极（11、12）之间提供清洁气体（48），使两个电极之间的气体压力保持在发生辉光放电的气体压力；辉光放电电源（60），向两个电极（11、12）之间施加直流电压，发生辉光放电（80）。该清洁装置还包括：异常放电测量器（84），测量在规定时间内电极（11、12）之间发生异常放电的次数（N）；电源控制器（86），使用测量到的发生异常放电的次数（N）进行控制，使辉光放电电源（60）的输出电流（Ig）增减规定幅度。