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公开(公告)号：CN114188202A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202110715711.7
申请日：2021-06-25
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/20 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种基板保持装置以及离子注入装置，能够抑制保持基板的支架变形。所述基板保持装置具备：保持基板的支架；与支架接合并规定支架的旋转轴的轴部件；以及支承轴部件的支架支承部件，通过使支架绕规定的旋转轴进行旋转动作而能够在倒伏位置与立起位置之间移动，支架具备：彼此分离地配置在旋转轴上的多个基板支承部件；以及将多个基板支承部件的一端部连结的第一连结部件，轴部件沿着所述旋转轴与各基板支承部件接合。
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公开(公告)号：CN106128929A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201510641785.5
申请日：2015-09-30
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种不导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而确实地固定基板的基板固定装置。本发明的基板固定装置具备平台以及夹抓机构，其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与基板的各边对应而设置，并可在将基板予以固定的固定位置、与将基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具、与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动夹具的驱动力；而动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达驱动力的构件的移动而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达驱动力。
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公开(公告)号：CN114188202B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202110715711.7
申请日：2021-06-25
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/20 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种基板保持装置以及离子注入装置，能够抑制保持基板的支架变形。所述基板保持装置具备：保持基板的支架；与支架接合并规定支架的旋转轴的轴部件；以及支承轴部件的支架支承部件，通过使支架绕规定的旋转轴进行旋转动作而能够在倒伏位置与立起位置之间移动，支架具备：彼此分离地配置在旋转轴上的多个基板支承部件；以及将多个基板支承部件的一端部连结的第一连结部件，轴部件沿着所述旋转轴与各基板支承部件接合。
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公开(公告)号：CN117912924A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311161560.0
申请日：2023-09-11
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供基板支承台以及基板保持装置，能够变更支承基板的位置并且能够抑制支承基板的位置变化。配置于离子束照射装置(1)且支承被照射离子束的基板的基板支承台(10)构成为，具备支承基板的被支承面(Sb)的多个第一支承部件(20)以及能够固定第一支承部件(20)的支承体(11)，在与基板被支承的状态下的被支承面(Sb)平行的一个方向(D)上，能够在规定的范围内选择第一支承部件(20)相对于支承体(11)的配置位置，第一支承部件(20)通过固定部件(25)固定于所选择的配置位置。
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公开(公告)号：CN106128929B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201510641785.5
申请日：2015-09-30
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种不导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而确实地固定基板的基板固定装置。本发明的基板固定装置具备平台以及夹抓机构，其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与基板的各边对应而设置，并可在将基板予以固定的固定位置、与将基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具、与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动夹具的驱动力；而动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达驱动力的构件的移动而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达驱动力。
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