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公开(公告)号:CN118975126A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202380030910.1
申请日:2023-03-29
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种散热性良好的体弹性波滤波器装置。体弹性波滤波器装置包括:声响多层膜,其在支撑基板上,由具有规定的比声阻抗的第一层及具有比第一层低的比声阻抗的第二层交替层叠而成;主动组件,其被设置在该声响多层膜的与该支撑基板相反一侧。该主动组件包括设置在该声响多层膜上的第一电极层、设置在该第一电极层上的压电层、及设置在该压电层上的第二电极层,该声响多层膜的一部分或全部具有导电性,在该声响多层膜与该第一电极层之间设置有绝缘层。作为优选的结构例,具有导电性的该第二层具有1.0×10^‑3Ωcm以下的电阻率。
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公开(公告)号:CN112740429B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN201980062331.9
申请日:2019-09-20
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H10N30/853 , C23C14/08 , H10N30/88 , H10N30/076 , H10N30/079
Abstract: 改善压电器件的光学特性与压电特性的至少一者。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极与第2电极之间所配置的至少1层压电体层,上述压电体层将纤锌矿型的结晶材料作为主成分,并添加有通过形成氧化物而具有透明性的元素1种以上,雾度值为3.0%以下,相对于波长380nm的光的透射率为50%以上。
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公开(公告)号:CN112740430A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN201980062415.2
申请日:2019-09-20
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L41/313 , C23C14/50 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 抑制压电器件中电极间的泄漏而维持良好的压电特性。压电器件在第1基材上,依次配置有第1导电膜、无机材料的压电体层、粘着层以及第2导电膜。
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公开(公告)号:CN112823432B
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN201980062655.2
申请日:2019-09-27
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H10N30/853 , C23C14/08 , H10N30/88 , H10N30/076 , H10N30/079
Abstract: 提供一种机械能与电能之间的转化能力高的压电器件。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极层与上述第2电极层之间所配置的压电体层,上述压电体层向具有纤锌矿型的晶体结构的ZnO系材料中添加不表现导电性的金属,厚度振动模式下的机电耦合系数的平方值为6.5%以上。
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公开(公告)号:CN115280673A
公开(公告)日:2022-11-01
申请号:CN202180021031.3
申请日:2021-03-12
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H03H9/17 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 本申请提供一种压电层的厚度即使在亚微米的区域,也具有充分的结晶取向性的层叠体以及使用了该层叠体的压电器件。层叠体依次层叠有第1纤维锌矿型薄膜、第1六方晶金属层、第1电极层、第2六方晶金属层以及第2纤维锌矿型薄膜,上述第1电极层由与上述第2纤维锌矿型薄膜相比声阻抗高的金属材料来形成。
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公开(公告)号:CN113574692A
公开(公告)日:2021-10-29
申请号:CN202080021284.6
申请日:2020-03-10
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L41/047 , G01L1/16 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/29
Abstract: 本发明提供一种压电器件,其能够抑制包夹压电体层(13)的电极间的泄漏,从而能够降低压电特性的劣化。压电器件(10A)在基材(11)之上依次层叠第一电极(12)、压电体层、以及第二电极(14),上述第一电极和上述第二电极成为在层叠方向彼此不重合的配置。
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公开(公告)号:CN113573897B
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202080021114.8
申请日:2020-03-10
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: B32B27/06 , H10N30/87 , H10N30/853 , H10N30/073 , H10N30/079
Abstract: 维持层叠体的柔韧性的同时,降低功能层的开裂的产生。层叠体具有高分子的基材、以及形成于上述基材的第1面的结晶性的功能层,上述基材的上述第1面的表面粗糙度以算术平均粗糙度(Ra)计为3nm以下。
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公开(公告)号:CN117016059A
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN202280022562.9
申请日:2022-03-28
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H10N30/853 , H10N30/074
Abstract: 本发明涉及的压电体膜具备具有纤维锌矿型的晶体结构的压电材料作为主成分,所述压电体膜具有包含Kr的添加元素,上述压电材料包含选自由Zn、Al、Ga、Cd和Si所组成的组中的一种成分作为阳性元素,上述压电材料中的Kr元素的含量相对于含有元素的含量的比例为0.01atm%~0.05atm%。
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