体弹性波滤波器装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118975126A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202380030910.1

    申请日:2023-03-29

    Abstract: 本发明提供一种散热性良好的体弹性波滤波器装置。体弹性波滤波器装置包括:声响多层膜,其在支撑基板上,由具有规定的比声阻抗的第一层及具有比第一层低的比声阻抗的第二层交替层叠而成;主动组件,其被设置在该声响多层膜的与该支撑基板相反一侧。该主动组件包括设置在该声响多层膜上的第一电极层、设置在该第一电极层上的压电层、及设置在该压电层上的第二电极层,该声响多层膜的一部分或全部具有导电性,在该声响多层膜与该第一电极层之间设置有绝缘层。作为优选的结构例,具有导电性的该第二层具有1.0×10^‑3Ωcm以下的电阻率。

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