一种半透明电极紫外单光子探测器

    公开(公告)号:CN218101277U

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202221351325.0

    申请日:2022-05-31

    Applicant: 无锡学院

    Abstract: 本实用新型公开一种半透明电极紫外单光子探测器,包括上电极、下电极、外延层和n+型SiC衬底,其中,所述上电极的厚度在2‑15nm之间,所述n+型SiC衬底的正面制备有所述外延层,所述外延层的正面设置有所述上电极,所述n+型SiC衬底的背面制备有所述下电极。本实用新型的方案与现有SiC紫外单光子探测器件相比,在不增加器件制备工艺难度的前提下,采取改良电极的方式,将上电极的厚度减小至2‑15nm,相较于传统电极厚度,半透明电极紫外单光子探测器中材料对入射光的吸收更高,能够提高器件量子效率。

    一种栅型电极结构SiC雪崩光电二极管

    公开(公告)号:CN217562581U

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202221364204.X

    申请日:2022-05-31

    Applicant: 无锡学院

    Abstract: 一种栅型电极结构SiC雪崩光电二极管,包括n+型SiC衬底、底部n型欧姆接触电极、外延层、上层p型欧姆接触电极和电极,其中:n+型SiC衬底的正面设置外延层,外延层的正面设置上层p型欧姆接触电极,n+型SiC衬底的底面设置底部n型欧姆接触电极;外延层为p+/p/i/n+结构;上层p型欧姆接触电极为栅型结构的电极,上层p型欧姆接触电极由根电极和枝电极组成,其中,枝电极由多个条形电极组成,枝电极的多个条形电极垂直于SiC材料方向,根电极为一个条形电极,将枝电极的多个条形电极连接在一起;上层p型欧姆接触电极与电极连接。本实用新型将上层p型欧姆接触电极优化为栅极结构,提高电场分布均匀性,增加光生载流子的雪崩几率,优化器件探测能力。

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