一种两步法制备氮化镓/硫化锌纳米异质结方法

    公开(公告)号:CN102659174A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201210133129.0

    申请日:2012-05-03

    Applicant: 新疆大学

    Abstract: 本发明公开了一种两步法制备氮化镓/硫化锌纳米异质结的方法,是通过以下工艺过程实现的:将装有一定量氧化镓(纯度为质量百分比99.999%)粉末的陶瓷舟置于长度为100cm的水平刚玉管式炉正中间,在距陶瓷舟20cm-25cm处放置镀金衬底,密闭管式炉抽真空到2×10-2-10-3Pa,Ar气保护下加热水平管式炉到900-1080oC后,通入200sccm的NH3气反应两小时,Ar气保护下自然冷却到室温,在衬底上得到淡黄色的产物。然后将沉积有淡黄色产物的衬底置于真空热蒸发装置上,沉积有淡黄色的产物的一面正对硫化锌源(纯度为质量百分比99.995%),源与衬底距离在1-2厘米,加热电流在100-180A,最后在衬底上产物变为深黄色。本发明所制备的为氮化镓/硫化锌纳米异质结,其特点是:用两步法制备了具有两种不同的异质结构,即纳米线状的核壳结构和糖葫芦状的异质结构。

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