激光加工装置和激光加工方法

    公开(公告)号:CN1496779A

    公开(公告)日:2004-05-19

    申请号:CN03154416.9

    申请日:2003-09-27

    Inventor: 田中隆 河野充

    Abstract: 本发明提供一种配线板用树脂薄膜的激光加工方法,能以连续高精密度对于加工范围宽度在50mm以上,宽度达到极广范围的薄膜进行激光加工,而不致产生扭曲或皱纹等情况,其特征在于:输送作为被加工薄膜(6)的长条状的配线板用树脂薄膜,当该应加工的区域输送到加工平台(8)的上方时,暂时停止输送,并使加工平台上升而将被加工薄膜支承在预定位置,以将此朝与激光束的扫移方向成直角方向移动的同时,借助于扫移装置将来自固定在预定位置的1个加工头的激光束,向单方向或双方向扫移,并以1次光束连续扫移,在被加工薄膜的扫移宽度方向上照射50~300mm的区域。

Patent Agency Ranking