公开(公告)号：CN118588586A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410234966.5

申请日：2024-03-01

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 春原昌宏 ,  西川里驱 ,  高木骏 ,  安藤樱

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及一种基板固定装置，该基板固定装置包括底板、设置在该底板上的发热部、设置在该发热部上的金属层、以及设置在该金属层上的静电吸盘。在基板固定装置中，金属层由与底板相同的材料制成。

公开(公告)号：CN117525004A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202310977797.X

申请日：2023-08-04

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 佐藤溪太 ,  高木骏

IPC: H01L23/34 ,  H01L21/48

Abstract: 本公开涉及温度调节构件和温度调节构件的制造方法。温度调节构件包括：基体；绝缘基板，其包括内置的发热元件和使发热元件的一部分露出的开口部；电线，其通过开口部连接至发热元件；以及粘合层，其将基体和绝缘基板结合。基体包括连接至开口部的通孔，电线穿过该通孔。粘合层具有位于基体和绝缘基板之间的第一部分，以及填充通孔的第二部分。