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公开(公告)号：CN115116921A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210258782.3
申请日：2022-03-16
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘包括：陶瓷板；吸附电极，其内置于陶瓷板中；以及多个连接焊盘，其内置于陶瓷板中以与吸附电极电连接。连接焊盘呈阶梯式布置。
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