公开(公告)号：CN115692296A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210840032.7

申请日：2022-07-18

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 小林健太郎 ,  渡边瑞贵 ,  山口晃平 ,  佐藤淳夫

IPC: H01L21/683 ,  C04B35/10 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明涉及静电吸盘、基板固定装置和静电吸盘的制造方法。该静电吸盘包括：绝缘基板，其具有放置吸附目标对象的放置表面和设置在放置表面的相反侧的相反表面；以及气孔，其从相反表面穿透至放置表面。气孔具有从相反表面朝向放置表面延伸的第一孔部、从放置表面朝向相反表面延伸的第二孔部、以及设置在第一孔部和第二孔部之间并且形成为使第一孔部和第二孔部彼此连通的第三孔部。第一孔部设置为在俯视时不与第二孔部重叠。

公开(公告)号：CN115116921A

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202210258782.3

申请日：2022-03-16

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 小泉直幸 ,  清水和纪 ,  小林健太郎

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘包括：陶瓷板；吸附电极，其内置于陶瓷板中；以及多个连接焊盘，其内置于陶瓷板中以与吸附电极电连接。连接焊盘呈阶梯式布置。