公开(公告)号：CN115132637A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210273128.X

申请日：2022-03-18

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 村松佑亮 ,  竹元启一 ,  原山洋一

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘包括：基体，其具有安装待吸附对象的安装面以及与安装面相反的背面；隔绝层，其形成在背面上；加热元件，其内置于隔绝层中并且构造成产生热量；以及至少一个热扩散层，其内置于基体中并且构造成扩散由加热元件产生的热量。至少一个热扩散层由热导率高于基体的热导率的材料形成。

公开(公告)号：CN114678317A

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202111582281.2

申请日：2021-12-22

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 村松佑亮 ,  竹元启一

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘及其制造方法、以及基板固定装置，该静电吸盘包括：基体，其具有放置吸附目标对象的放置表面；热扩散层，其直接形成在基体的与放置表面相反的表面上；绝缘层，其在热扩散层的与基体相反的一侧布置成与热扩散层接触；以及发热体，其埋入在绝缘层中。热扩散层由热导率高于绝缘层的材料形成。