公开(公告)号：CN113284836A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202110123597.9

申请日：2021-01-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 小林博幸

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本公开提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘构造为在静电吸盘上吸附并且保持对象。该静电吸盘包括：基体，对象安装在该基体上；静电电极，其设置在基体中；多个加热元件，其设置在基体中；以及多个电流控制元件，其设置在基体中，并且多个电流控制元件中的每一个与加热元件中相对应的一个串联连接；根据从基体的外部朝向电流控制元件中相对应的一个辐射的光来控制电流控制元件的每个操作。

公开(公告)号：CN119965150A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202411588639.6

申请日：2024-11-08

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 小林博幸

IPC: H01L21/683

Abstract: 本公开提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘包括：基体，其具有第一表面和与第一表面相反的第二表面；多个第一电极和多个第二电极，其埋入在基体中；以及多个第三电极，其从第一表面露出，并且在基体中设置在彼此相邻的第一电极和第二电极之间。在第一表面上形成有多个突起。在垂直于第一表面的平面图中，第三电极设置在与突起偏离的位置处。

公开(公告)号：CN113284838A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202110126647.9

申请日：2021-01-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 小林博幸 ,  栗林明宏

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本公开提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘构造为在静电吸盘上吸附并保持对象。静电吸盘包括：基体，对象安装在该基体上；静电电极，其设置在基体中；多个加热元件，其设置在基体中；多个电流控制元件，其设置在基体中，并且多个电流控制元件中的每一个与加热元件中相对应的一个串联连接；以及控制电路，其设置在基体中，并且该控制电路与电流控制元件相连接并且构造为控制电流控制元件的操作。

公开(公告)号：CN115241112A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202210387754.1

申请日：2022-04-13

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 小林博幸 ,  小泉直幸 ,  立岩昭彦

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种静电吸附部件和基板固定装置，该静电吸附部件包括：电介质部件，其具有第一表面以及与第一表面相反的第二表面，并且形成有从第一表面穿透到第二表面的通孔；以及多孔体，其设置在通孔中，并且具有与第一表面齐平的第三表面。通孔具有在垂直于第一表面的第一方向上与第一表面间隔开第一距离的第一开口，以及在第一方向上与第一表面间隔开大于第一距离的第二距离的第二开口。在沿第一方向俯视时，第一开口的至少一部分位于第二开口内，并且多孔体具有位于第一开口内的第一部分以及连接到第一部分并且位于第一开口外的第二部分。