公开(公告)号：CN113284837A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202110123746.1

申请日：2021-01-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 栗林明宏 ,  西川里驱

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32

Abstract: 本公开提供一种基板固定装置，该基板固定装置包括：静电吸盘，其构造为在静电吸盘上吸附并且保持对象，并且静电吸盘包括基体和静电电极，对象安装在该基体上，并且静电电极设置在基体中；以及底板，静电吸盘安装在底板上，并且底板具有多个通孔，该多个通孔中的每一个使基体的面向底板的第一面露出。从通孔中的每一个朝向基体发射激光。

公开(公告)号：CN113284838A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202110126647.9

申请日：2021-01-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 小林博幸 ,  栗林明宏

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本公开提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘构造为在静电吸盘上吸附并保持对象。静电吸盘包括：基体，对象安装在该基体上；静电电极，其设置在基体中；多个加热元件，其设置在基体中；多个电流控制元件，其设置在基体中，并且多个电流控制元件中的每一个与加热元件中相对应的一个串联连接；以及控制电路，其设置在基体中，并且该控制电路与电流控制元件相连接并且构造为控制电流控制元件的操作。