柱状铜凸点、半导体芯片及半导体装置

    公开(公告)号:CN112928087A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN202011243111.7

    申请日:2020-11-09

    Abstract: 本发明提供一种柱状铜凸点、半导体芯片及半导体装置。柱状铜凸点形成在半导体芯片的电极垫上,并具有:第1铜层;第1金属层,形成在所述第1铜层的正上方;第2铜层,形成在所述第1金属层的正上方;及第2金属层,形成在所述第2铜层的正上方。其中,所述第1金属层和所述第2金属层由蚀刻速率与铜不同的金属形成,所述第1金属层的外周侧在所述第1铜层的侧面的外侧呈环状凸起,所述第2金属层的外周侧在所述第2铜层的侧面的外侧呈环状凸起。

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