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公开(公告)号：CN119297066A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411366749.8
申请日：2024-09-29
Applicant: 捷捷微电(南通)科技有限公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 本申请提供了一种控制电路以及刻蚀真空系统，其中，该控制电路，包括：电源模块、互锁控制模块以及开关模块；互锁控制模块包括：供电控制单元以及连接控制单元；连接控制单元的输出端分别与等离子刻蚀机的入口载锁以及等离子刻蚀机的出口载锁连接；供电控制单元用于在开关模块导通时上电，并向连接控制单元发出电磁信号；连接控制单元用于在电磁信号的作用下，在连接控制单元的输出端与入口载锁以及等离子刻蚀机的真空抽取装置之间形成回路，以将入口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取装置导通，且将出口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取装置断开。本申请能够对等离子刻蚀机的真空抽取过程进行控制，从而有效避免了大气回灌现象的产生。
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