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公开(公告)号：CN115485411A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032124.6
申请日：2021-04-14
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： C·瓦尔德弗里德 , S·隆戈 , P·蒂亚吉
IPC: C23C16/40 , C23C16/56 , C23C16/455
Abstract: 本发明描述氟化钇组合物，包括含有氟化钇的沉积膜，例如涂层；制备氟化钇组合物和含有氟化钇的沉积膜涂层的方法；以及具有在表面处含有氟化钇的沉积膜涂层的衬底和包括所述衬底的方法和设备。
公开(公告)号：CN113913783A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202110776379.5
申请日：2021-07-09
Inventor： C·瓦尔德弗里德 , S·隆戈
Abstract: 本申请案涉及含有氟化氧化钇及金属氧化物的涂层以及制备及使用所述涂层的方法。本发明描述含有氟化氧化钇及金属氧化物的涂层；制备这些涂层的方法；包含含有氟化氧化钇与金属氧化物的组合的涂层的衬底、表面、设备及设备组件；以及制备及使用所述涂层及经涂覆衬底的方法。
