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公开(公告)号：CN115485411A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032124.6
申请日：2021-04-14
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： C·瓦尔德弗里德 , S·隆戈 , P·蒂亚吉
IPC: C23C16/40 , C23C16/56 , C23C16/455
Abstract: 本发明描述氟化钇组合物，包括含有氟化钇的沉积膜，例如涂层；制备氟化钇组合物和含有氟化钇的沉积膜涂层的方法；以及具有在表面处含有氟化钇的沉积膜涂层的衬底和包括所述衬底的方法和设备。
