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公开(公告)号：CN114959643B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202210179970.7
申请日：2022-02-25
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/50 , C23C16/455
Abstract: 汽化器容器包括一或多个试剂支撑面板，所述试剂支撑面板在竖直定向上，例如当填充所述汽化器容器时，用作所述容器的内部空间的分隔物，而当旋转到水平定向时，所述面板支撑置于由所述面板和所述容器的内壁形成的一或多个腔室中的可汽化固体材料并能够将热量转移到所述固体材料。所述腔室使得填充有所述可汽化固体材料的任何或所有腔室提供空隙空间，以允许所述固体材料汽化并使气体在加热时移动通过所述汽化器容器，允许所述固体材料高效汽化，并进一步允许由所述固体材料产生的蒸汽移动至所述容器的出口，在所述出口处可作为工艺的一部分提供所述蒸汽。
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公开(公告)号：CN119234055A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202380036346.4
申请日：2023-03-20
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/08 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 用于控制前体输送的系统及方法。所述系统及方法可包括与气体流动管线流体连通的前体输送容器。所述前体输送容器可包括容纳可蒸发前体的至少一个托盘。一定量的热能可以足以蒸发所述可蒸发前体的量供应到所述至少一个托盘。所述经蒸发前体可从所述前体输送容器施配到所述气体流动管线。供应到所述至少一个托盘的热能可调整为足以将所述气体流动管线中的所述经蒸发前体的压力维持在某一压力范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114959643A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210179970.7
申请日：2022-02-25
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/50 , C23C16/455
Abstract: 汽化器容器包括一或多个试剂支撑面板，所述试剂支撑面板在竖直定向上，例如当填充所述汽化器容器时，用作所述容器的内部空间的分隔物，而当旋转到水平定向时，所述面板支撑置于由所述面板和所述容器的内壁形成的一或多个腔室中的可汽化固体材料并能够将热量转移到所述固体材料。所述腔室使得填充有所述可汽化固体材料的任何或所有腔室提供空隙空间，以允许所述固体材料汽化并使气体在加热时移动通过所述汽化器容器，允许所述固体材料高效汽化，并进一步允许由所述固体材料产生的蒸汽移动至所述容器的出口，在所述出口处可作为工艺的一部分提供所述蒸汽。
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公开(公告)号：CN119562852A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202380054174.3
申请日：2023-06-26
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 一种系统，其包含：容器，其用于装纳填充材料；及振动源，其连接到所述容器。所述振动源可增加所述填充材料的体积密度。填充材料比可被定义为所述填充材料的粒子密度除以振动之后的所述填充材料的所述体积密度。在所述振动源增加所述填充材料的所述体积密度之后，所述填充材料比可在从约0.15到约0.75的范围内。
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公开(公告)号：CN115725954A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211067098.3
申请日：2022-09-01
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/48
Abstract: 本申请案涉及一种汽化器组合件。特定来说，提供包含汽化器容器的组合件。在一些实施例中，所述汽化器容器界定内部容积。在一些实施例中，所述汽化器容器经配置以在所述内部容积内容纳至少一种源试剂。在一些实施例中，所述组合件包含加热器。在一些实施例中，所述加热器经配置以使所述至少一种源试剂汽化。在一些实施例中，所述加热器是经配置以无需加热所述汽化器容器而使所述至少一种源试剂汽化的辐射热源。
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公开(公告)号：CN218596506U
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202220394753.5
申请日：2022-02-25
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/50 , C23C16/455
Abstract: 本实用新型涉及用于可汽化固体源材料的汽化器容器，其包括一或多个试剂支撑面板，所述试剂支撑面板在竖直定向上，例如当填充所述汽化器容器时，用作所述容器的内部空间的分隔物，而当旋转到水平定向时，所述面板支撑置于由所述面板和所述容器的内壁形成的一或多个腔室中的可汽化固体材料并能够将热量转移到所述固体材料。所述腔室使得填充有所述可汽化固体材料的任何或所有腔室提供空隙空间，以允许所述固体材料汽化并使气体在加热时移动通过所述汽化器容器，允许所述固体材料高效汽化，并进一步允许由所述固体材料产生的蒸汽移动至所述容器的出口，在所述出口处可作为工艺的一部分提供所述蒸汽。
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公开(公告)号：CN219568051U
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202222328900.1
申请日：2022-09-01
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/48
Abstract: 本申请案涉及一种汽化器组合件。特定来说，提供一种包含汽化器容器的汽化器组合件。在一些实施例中，所述汽化器容器界定内部容积。在一些实施例中，所述汽化器容器经配置以在所述内部容积内容纳至少一种源试剂。在一些实施例中，所述汽化器组合件包含加热器。在一些实施例中，所述加热器经配置以使所述至少一种源试剂汽化。在一些实施例中，所述加热器是经配置以无需加热所述汽化器容器而使所述至少一种源试剂汽化的辐射热源。
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