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公开(公告)号：CN119547179A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202380053932.X
申请日：2023-06-28
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： B·C·亨德里克斯 , C·瓦尔德弗里德 , 斯科特·L·巴特尔 , G·理查兹 , 本杰明·R·加勒特
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , C23C16/455
Abstract: 一种系统包含：化学品供应柜(例如，例如经配置以装纳安瓿的化学品供应柜)；模块，其经配置以使表面改质；及控制单元，其经连接到所述模块，其中所述控制单元经配置以指导所述表面的所述改质。
