用于电流隔离器件的线键合部
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117810193A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311214653.5

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本申请公开了用于电流隔离器件的线键合部。一种微电子器件(100)包括电流隔离部件(102),其具有:在基板(112)上方的下隔离元件(138)与连接到下隔离元件(138)的下键合焊盘(116);在下隔离元件(138)上方的不延伸到下键合焊盘(116)的介电平台(118);以及在介电平台(118)上方的上隔离元件(140)和上键合焊盘(122)。上键合焊盘(122)与下键合焊盘(116)横向分离隔离距离(142)。微电子器件(100)包括上键合焊盘(122)上的高电压线键合部(134),其在竖直方向的10度内向上延伸大于隔离距离(142)的竖直距离(150)。微电子器件(100)进一步包括在下键合焊盘(116)上的低电压线键合部(132),其具有直接在基板(112)的周边(120)上方的环高度(144),该环高度小于低电压线键合部(132)的线直径(146)的5倍。

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