具有背侧引脚孔释放和重新密封的微机电系统(MEMS)器件

    公开(公告)号:CN115135594A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202180014937.2

    申请日:2021-01-11

    Abstract: 一种器件包括具有第一和第二层(111、113)的衬底(110)以及在第一和第二层(111、113)之间的绝缘体层(112)。微机电系统(MEMS)结构(120)设置在第二层(113)的一部分(117)上。沟槽(130)形成在第二层(113)中并且围绕第二层(113)的该部分(117)的至少一部分外围。底切部(150)形成在绝缘体层(112)中并且与第二层(113)的该部分(117)相邻。底切部(150)将第二层(113)的该部分(117)与第一层(111)分开。第一和第二引脚孔(140)从绝缘体层的平面并在第一层(111)中延伸。第一和第二引脚孔(140)与底切部(150)和沟槽(130)流体连通。

    高频CMOS超声换能器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114728782A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202080081611.7

    申请日:2020-10-01

    Abstract: 在所描述的CMOS IC的示例中,具有端子的超声换能器(1200)形成在IC的衬底(1230)上。具有超声信号端子的CMOS电路系统(1236)形成在衬底上。至少一个金属互连层(1238)覆盖超声换能器和CMOS电路系统。至少一个金属互连层将CMOS电路系统超声信号端子连接到超声换能器的端子。

    分子钟校准
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115733488A

    公开(公告)日:2023-03-03

    申请号:CN202211044930.8

    申请日:2022-08-30

    Abstract: 本申请公开了分子钟校准。一种方法(200),向PLL的基准输入和输出时钟电路提供(204)振荡器输出信号;向PLL的控制输入提供(206)第一除数值以调节包括物理单元、接收器和PLL的闭环;向输出时钟电路的控制输入提供(208)第二除数值以控制输出时钟信号的输出频率;在第一方向上偏移(212、216、220、224)第一除数值以引起闭环中的扰动;沿相反的第二方向偏移(212、216、220、224)第二除数值以抵消闭环对扰动的响应并调节输出时钟信号的输出频率;以及基于接收器输出信号,分析(212、216、220、224)闭环对扰动的响应。

    具有体声波(BAW)谐振器和串联谐振拓扑结构的振荡器

    公开(公告)号:CN115001435A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210170354.5

    申请日:2022-02-24

    Abstract: 本申请涉及具有体声波(BAW)谐振器和串联谐振拓扑结构的振荡器。振荡器(102,图1)包括:体声波(BAW)谐振器(108,图1),其具有第一BAW谐振器端子和第二BAW谐振器端子;和有源电路(104,图1),其耦合到第一和第二BAW谐振器端子,并具有串联谐振拓扑结构,串联谐振拓扑结构具有:第一晶体管(Q1,图6);第二晶体管(Q2,图6);第一电阻器(R1,图6);第二电阻器(R2,图6);电容网络结构(C1‑C4,图6),该电容网络结构耦合到第一和第二BAW谐振器端子以及第一和第二晶体管(Q1和Q2)的相应电流端子;和电感器(L1,图6),其具有第一电感器端子和第二电感器端子,第一电感器端子耦合到电容网络结构(C1‑C4)且第二电感器端子耦合到接地端子。

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