公开(公告)号：CN216473575U

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN202122265657.9

申请日：2021-09-16

Applicant: 徐州美芯半导体材料科技有限公司 ,  江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司

Inventor： 郭晓琛 ,  乔帅帅 ,  李远田 ,  燕靖 ,  边丽媛 ,  关春洋 ,  吴亚娟

IPC: C30B15/28 ,  C30B29/06

Abstract: 本实用新型公开一种单晶炉连续加料智能控制系统，包括第一称重器、计时器、控制器以及加料装置，控制器内部预先设定有重量值G和时间间隔T；第一称重器用于采集晶棒的重量信息，加料装置用于存储固体原料，并通过称重传输装置将附体原料添加到坩埚内，第一称重器、第二称重器、皮带传输装置的电机以及出料阀分别通过控制电路与控制器电连接。本实用新型通过对比晶棒固定时间段前后重量差，判断是否需要加料，若需要加料，则向坩埚内加料，加料重量等于上述重量差时，则停止加料，从而完成加料动作。本实用新型能够智能控制加料量，加料精确度高，能够满足晶棒生长对原料的要求，同时能够避免加料过程中在坩埚中产生飞溅。