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公开(公告)号：CN103370773A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201280008860.9
申请日：2012-02-27
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/316 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/0228 , C23C16/402 , C23C16/452 , C23C16/45523 , H01L21/02164 , H01L21/02219 , H01L21/02271 , H01L21/0234 , H01L21/28556
Abstract: 本发明揭示的各方面有关于在图案化基板上沉积共形氧化硅多层的方法。所述共形氧化硅多层各自通过沉积多个子层而形成。子层是通过以下步骤沉积的：将双（二乙基胺基）硅烷(BIS(DIETHYLAMINO)SILANE,BDEAS)与含氧前驱物流入处理腔室，使得在整个图案化基板表面上达成相对均匀的介电质生长速率。在形成子层后可接着有等离子体处理，以进一步改善共形度并且减少共形氧化硅多层膜的湿蚀刻速率。根据实施例生长的共形氧化硅多层的沉积对图案密度的依赖减少，同时仍适合用于非牺牲性的应用。
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公开(公告)号：CN116830254A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202280014485.2
申请日：2022-02-10
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 一种方法包括：接收与基板处理装备的对应部件相关联的部件数据、与由基板处理装备执行以产生一个或多个对应基板的一个或多个对应基板处理操作相关联的传感器数据和由包括对应部件的基板处理装备执行的一个或多个对应基板处理操作产生的一个或多个对应基板相关联的计量数据。方法进一步包括生成聚集的部件‑传感器‑计量数据的集合，所述聚集的部件‑传感器‑计量数据的集合包括部件数据的对应集合、传感器数据的对应集合和计量数据的对应集合。方法进一步包括导致对聚集的部件‑传感器‑计量数据的集合进行分析以生成一个或多个输出，从而执行与基板处理装备的对应部件相关联的校正动作。
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公开(公告)号：CN110249416B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201880009737.6
申请日：2018-04-06
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 本公开的实现整体涉及一种用于减少等离子体处理腔室中的基板上的颗粒污染的设备。用于减少的颗粒污染的设备包括腔室主体、耦接到所述腔室主体的盖。所述腔室主体和所述盖之间限定处理容积。所述设备还包括设置在所述处理容积中的基板支撑件以及边缘环。所述边缘环包括设置在基板上方的内部凸缘、连接到所述内部凸缘的顶表面、与所述顶表面相对并从所述基板支撑件径向向外延伸的底表面、以及在所述底表面与所述内部凸缘之间的内部台阶。为了避免在等离子体断电时将颗粒沉积在正在处理的所述基板上，所述边缘环使高等离子体密度区从所述基板的边缘区域被移开。
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公开(公告)号：CN113454552A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202080015312.3
申请日：2020-02-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02 , G06N20/00
Abstract: 描述了用于传感器计量数据整合的方法、系统和非瞬时性计算机可读介质。一种方法包括接收传感器数据组和计量数据组。每组传感器数据包括与由制造设备生产对应产品相关联的对应传感器值和对应的传感器数据标识符。每组计量数据包括与由制造设备制造的对应产品相关联的对应计量值和对应的计量数据标识符。方法进一步包括确定每个对应的传感器数据标识符与每个对应的计量数据标识符之间的共同部分。方法进一步包括：对于每个传感器‑计量匹配，生成对应的聚合的传感器‑计量数据组并且存储聚合的传感器‑计量数据组，以训练机器学习模型。经训练的机器学习模型能够生成用于执行与制造设备相关联的校正动作的一个或多个输出。
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公开(公告)号：CN113169044A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980082795.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组数据点。方法进一步包括：对此组数据点执行特征提取。方法进一步包括：基于特征提取确定对一个或多个制造参数的更新以满足目标数据。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN113169044B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN201980082795.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组数据点。方法进一步包括：对此组数据点执行特征提取。方法进一步包括：基于特征提取确定对一个或多个制造参数的更新以满足目标数据。
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公开(公告)号：CN118131709A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410237426.2
申请日：2020-02-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02 , G06N20/00
Abstract: 描述了用于传感器计量数据整合的方法、系统和非瞬时性计算机可读介质。一种方法包括接收传感器数据组和计量数据组。每组传感器数据包括与由制造设备生产对应产品相关联的对应传感器值和对应的传感器数据标识符。每组计量数据包括与由制造设备制造的对应产品相关联的对应计量值和对应的计量数据标识符。方法进一步包括确定每个对应的传感器数据标识符与每个对应的计量数据标识符之间的共同部分。方法进一步包括：对于每个传感器‑计量匹配，生成对应的聚合的传感器‑计量数据组并且存储聚合的传感器‑计量数据组，以训练机器学习模型。经训练的机器学习模型能够生成用于执行与制造设备相关联的校正动作的一个或多个输出。
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公开(公告)号：CN113454552B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202080015312.3
申请日：2020-02-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02 , G06N20/00
Abstract: 描述了用于传感器计量数据整合的方法、系统和非瞬时性计算机可读介质。一种方法包括接收传感器数据组和计量数据组。每组传感器数据包括与由制造设备生产对应产品相关联的对应传感器值和对应的传感器数据标识符。每组计量数据包括与由制造设备制造的对应产品相关联的对应计量值和对应的计量数据标识符。方法进一步包括确定每个对应的传感器数据标识符与每个对应的计量数据标识符之间的共同部分。方法进一步包括：对于每个传感器‑计量匹配，生成对应的聚合的传感器‑计量数据组并且存储聚合的传感器‑计量数据组，以训练机器学习模型。经训练的机器学习模型能够生成用于执行与制造设备相关联的校正动作的一个或多个输出。
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公开(公告)号：CN117174641A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311147881.5
申请日：2018-04-06
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/687 , H01J37/32 , C23C16/458 , C23C16/50
Abstract: 本公开的实现整体涉及一种用于减少等离子体处理腔室中的基板上的颗粒污染的设备。用于减少的颗粒污染的设备包括腔室主体、耦接到所述腔室主体的盖。所述腔室主体和所述盖之间限定处理容积。所述设备还包括设置在所述处理容积中的基板支撑件以及边缘环。所述边缘环包括设置在基板上方的内部凸缘、连接到所述内部凸缘的顶表面、与所述顶表面相对并从所述基板支撑件径向向外延伸的底表面、以及在所述底表面与所述内部凸缘之间的内部台阶。为了避免在等离子体断电时将颗粒沉积在正在处理的所述基板上，所述边缘环使高等离子体密度区从所述基板的边缘区域被移开。
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