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公开(公告)号：CN103295896B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310180448.1
申请日：2007-02-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/324 , H01L21/268
CPC classification number: H01L21/26506 , H01L21/26513 , H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/823418 , H01L29/0653 , H01L29/6659 , H01L29/66659
Abstract: 本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和／或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭（hyper-abrupt）掺杂剂浓度的区域。
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公开(公告)号：CN101395712B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200780008142.0
申请日：2007-02-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/76
CPC classification number: H01L21/26506 , H01L21/26513 , H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/823418 , H01L29/0653 , H01L29/6659 , H01L29/66659
Abstract: 本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一个实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和/或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭(hyper-abrupt)掺杂剂浓度的区域。
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公开(公告)号：CN104169461A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201380013929.1
申请日：2013-03-11
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: C23C16/45551 , C23C16/45548 , C23C16/483
Abstract: 在此提供的原子层沉积的设备与方法包含气体分配板材与至少一激光源，该激光源邻近该气体分配板材发射激光束，以活化来自该气体分配板材的气相物种。同样提供具有诸细长气体注入器端口的诸气体分配板材，其中沿着该等细长气体注入器的长度引导该至少一激光束。
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公开(公告)号：CN103295896A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310180448.1
申请日：2007-02-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/324 , H01L21/268
CPC classification number: H01L21/26506 , H01L21/26513 , H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/823418 , H01L29/0653 , H01L29/6659 , H01L29/66659
Abstract: 本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和／或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭（hyper-abrupt）掺杂剂浓度的区域。
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