公开(公告)号：CN102318078B

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN200980149941.9

申请日：2009-10-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 马可·加里亚佐 ,  蒂莫西·W·韦德曼 ,  安德烈亚·贝茨尼 ,  森霍姆(史蒂夫)·帕克 ,  方洪斌 ,  张振华

IPC: H01L31/042 ,  H01L21/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L31/022425 ,  H01L21/67253 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/0288 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的具体实施例通常也提供太阳能电池形成工艺，所述工艺包含形成金属接触覆盖于重度掺杂区域上，所述重度掺杂区域以期望的图案形成于基板的表面上。本发明的具体实施例也提供检验系统以及支撑硬件，用以可靠地将类似形状或图案化的金属接触结构安置于图案化重度掺杂区域上，以容许构成欧姆接触。金属接触结构，如指状物及汇流条，形成于重度掺杂区域上，使得可在这两个区域之间形成高质量电气连接。