公开(公告)号：CN101835521A

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：CN200880113307.5

申请日：2008-10-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 洪-曼·罗德尼·邱 ,  丹尼尔·O·克拉克 ,  肖恩·W·柯若弗德 ,  杰伊·J·俊 ,  优瑟夫·A·罗勒迪 ,  罗伯特·沃梅岚

IPC: B01D45/00 ,  B01D53/14 ,  C30B25/14

CPC classification number: B01D53/346 ,  B01D53/38 ,  B01D53/77 ,  B01D2251/102 ,  B01D2251/11 ,  B01D2258/0216 ,  C23C16/4412

Abstract: 本发明提供一种减少来自电子组件处理中的废液的方法，包括在一热减量工具中减量该废液以产生已减量的废液；判断该已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及根据判断结果来改变热减量工具的一个或多个操作参数。本发明提供多种其它实施例。

公开(公告)号：CN1997439A

公开(公告)日：2007-07-11

申请号：CN200480038033.X

申请日：2004-12-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 肖恩·弗罗恩 ,  约翰·凯利 ,  罗伯特·沃梅岚

IPC: B01D50/00 ,  B01D53/34 ,  F23D3/40

CPC classification number: B01D53/34 ,  F23G7/061 ,  F23L7/00 ,  F23L2900/07005 ,  F23L2900/07008 ,  F23M5/00 ,  F23M2900/05004 ,  Y02E20/344

Abstract: 本发明涉及用于控制气体污染物的燃烧同时从处理系统内去除不希望反应产品的沉积。该系统采用具有上热反应器的二级热反应器，该上热反应器具有用于混合废气流和用于在上热反应室内热燃烧的氧化剂及可燃烧燃料的至少一个入口。上热反应器还包括具有外部壁和内部多孔壁的双壁结构，其限定用于保持并就脉动方式喷射流体的内部空间，该流体通过内部多孔壁进入上热反应室，以减少反应产品在上反应器室内部的沉积。该二级热反应器还包括下反应器室，该下反应器室通过水涡动器来流动在上热反应器中形成的反应产品，该水涡动器提供沿下反应器室的内部溢出的水，由此减少不希望产品在下反应器的内表面上的沉积。