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公开(公告)号：CN119673766A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411684394.7
申请日：2024-11-22
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/3063 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种基于三维磁场引导的金属辅助化学刻蚀方法及设备，所述刻蚀方法包括预清洁、附加金属催化材料、泡入侵蚀液、置于磁场引导侵蚀装置、三维磁场引导侵蚀和后处理等步骤。所述金属辅助化学刻蚀方法通过三维亥姆霍兹线圈产生可控的磁场，以精确约束和控制金属催化材料在金属辅助化学刻蚀过程中的运动轨迹，可显著提升刻蚀过程的可控性和精确性，使得复杂微纳结构的制造变得更加高效。而且，通过调节磁场的方向和强度，有效提升金属催化材料的加工速率。通过磁引导作用，使得金属催化材料能够沿着预定方向进行刻蚀，确保了刻蚀轨迹的一致性和方向性，制造具有特定形状和尺寸的微观三维结构。
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公开(公告)号：CN119673765A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411675100.4
申请日：2024-11-21
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/306 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种基于超声驻波声场的金属辅助化学刻蚀方法，上述金属辅助化学刻蚀方法采用超声驻波声场使悬浮的金属催化小球沿声压节点在刻蚀基体的表面排列，以诱导金属催化小球的自组装，形成规则的颗粒阵列模板，利用流体通道中的声学谐振模式，实现了对金属催化小球的精确控制和图案化排列，能够显著地提高金属催化小球的分布均匀性和排列有序性，为后续的刻蚀过程提供更为精确、更为迅速的金属催化小球分布，从而提高刻蚀精度和效率。另外，本方案还将超声驻波声场颗粒自组装技术与MACE工艺结合，克服了现有技术在大规模制造和结构精度方面的不足，显著提升了MACE技术在大规模制造和高精度纳米结构中的应用潜力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115592218A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211284703.2
申请日：2022-10-17
Applicant: 广东工业大学(CN)
Abstract: 本发明提供一种用于深窄槽结构电解加工的管电极及电解铣削方法，属于管电极电解铣削技术领域；包括管电极本体，管电极本体内部中空，管电极本体上端为进液端、下端为出液端，管电极本体下部侧壁沿周向部分设有绝缘层，出液端包括水平端面和倾斜端面，水平端面为半圆面，倾斜端面从半圆面的端面向管电极本体的侧壁倾斜。通过绝缘层的布置形成脉动电场，通过设置倾斜端面形成脉动流场，脉动流场可以强化加工间隙内的冲液效果，脉动电场能够离散材料溶解过程和产物分布，两者耦合可大幅提升加工间隙内电解产物排出效率，降低其对加工过程的影响，提高加工质量。
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公开(公告)号：CN115592218B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202211284703.2
申请日：2022-10-17
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供一种用于深窄槽结构电解加工的管电极及电解铣削方法，属于管电极电解铣削技术领域；包括管电极本体，管电极本体内部中空，管电极本体上端为进液端、下端为出液端，管电极本体下部侧壁沿周向部分设有绝缘层，出液端包括水平端面和倾斜端面，水平端面为半圆面，倾斜端面从半圆面的端面向管电极本体的侧壁倾斜。通过绝缘层的布置形成脉动电场，通过设置倾斜端面形成脉动流场，脉动流场可以强化加工间隙内的冲液效果，脉动电场能够离散材料溶解过程和产物分布，两者耦合可大幅提升加工间隙内电解产物排出效率，降低其对加工过程的影响，提高加工质量。
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公开(公告)号：CN115582588A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211284716.X
申请日：2022-10-17
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供一种管电极及电解加工深小孔的方法和装置，属于管电极技术领域，包括管电极本体，管电极本体内部中空，管电极本体上端为进液端、下端为出液端，出液端包括水平端面和倾斜端面，倾斜端面上设有端面绝缘层，管电极本体下部设有绝缘层，本发明的管电极能够实现加工区的脉动电场和脉动流场耦合，实现在高流速下电解加工，低流速下补充电解液和排出电解产物和热量，大幅提升加工间隙内电解产物排出效率，降低电解产物对加工过程的影响，从而提高深小孔电解加工效率、质量和稳定性从而提高深小孔的加工质量。
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公开(公告)号：CN119274878A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411561173.0
申请日：2024-11-04
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种改良激光诱导石墨烯及其制备方法，步骤包括：对基材进行清洗和干燥，并裁剪聚酰亚胺薄膜，将聚酰亚胺薄膜紧密贴于基材表面；使用激光对聚酰亚胺薄膜的表面进行图案化加工，得到图案化激光诱导石墨烯；将的图案化激光诱导石墨烯置于真空环境；对图案化激光诱导石墨烯进行脉冲加工，得到改良激光诱导石墨烯。所述激光诱导石墨烯的制备方法采用脉冲电流的加工方式，对激光诱导石墨烯进行调整，以改变石墨烯层数、晶格中的感应应变以及电子能带结构。步骤S4的脉冲电流加工所需耗时短，且能通过调整其脉冲参数，如电压、持续时间等条件，对激光诱导石墨烯的晶体结构进行精确的控制，操作更便捷，可控度更高，而且对环境影响极小。
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公开(公告)号：CN115582588B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202211284716.X
申请日：2022-10-17
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供一种管电极及电解加工深小孔的方法和装置，属于管电极技术领域，包括管电极本体，管电极本体内部中空，管电极本体上端为进液端、下端为出液端，出液端包括水平端面和倾斜端面，倾斜端面上设有端面绝缘层，管电极本体下部设有绝缘层，本发明的管电极能够实现加工区的脉动电场和脉动流场耦合，实现在高流速下电解加工，低流速下补充电解液和排出电解产物和热量，大幅提升加工间隙内电解产物排出效率，降低电解产物对加工过程的影响，从而提高深小孔电解加工效率、质量和稳定性从而提高深小孔的加工质量。
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