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公开(公告)号：CN113555495B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202110818290.0
申请日：2021-07-20
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种薄膜压力传感器及其制备方法与应用。本发明公开了一种薄膜压力传感器，包括：由下至上设置的金属基体、第一绝缘层、压阻敏感层、第二绝缘层和耐磨防护层；第一绝缘层和第二绝缘层之间还设置有电极层，电极层与压阻敏感层连接；本发明将电极层和压阻敏感层封装在第一绝缘层和第二绝缘层之间，可以起到绝缘和信号传输稳定的效果，耐磨防护层可以保障传感器不受外界加工环境的影响，使得传感器在恶劣的工作环境下亦可正常使用。压阻敏感层为Cu84Mn12Ni4。该薄膜压力传感器中Cu84Mn12Ni4压阻效应好，响应快，线性好，使得薄膜传感器压阻系数大，线性度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN117364020A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311147804.X
申请日：2023-09-06
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种耐磨复合涂层及其制备方法和应用，属于表面防护与传感涂层技术领域。本发明提供的耐磨复合涂层，包括层叠的绝缘基体层和传感层；所述传感层含有金属氮化物，或金属氮化物与金属材料。本发明将金属氮化物作为传感层材料，得到的涂层材料能够起到在耐磨防护的同时也具备传感功能。以及，将金属材料作为传感层材料，可以进一步提高复合涂层的导电性和稳定性。本发明的复合涂层作为传感器，能对被集成元件所受到的应力、温度进行实时监测，还能对传感器和被集成元件进行防护，减少传感器和被集成元件所受到的损耗。
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公开(公告)号：CN115896718A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211263098.0
申请日：2022-10-14
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 广东工业大学
Abstract: 本申请属于涂层技术领域，尤其涉及一种TiBx涂层及其制备方法，TiBx涂层的制备方法包括如下步骤：预处理，对基体的表面进行预处理；沉积TiBx涂层，利用高功率脉冲磁控电源产生脉冲宽度在30μs至200μs的脉冲电流来溅射TiB2靶材，从而在基体的表面沉积TiBx涂层。TiBx涂层，采用上述的制备方法制备。本申请提供的一种TiBx涂层及其制备方法，利用高功率脉冲磁控电源来产生脉冲宽度在30μs至200μs之间的脉冲电流来溅射TiB2靶材，TiB2靶材的峰值电流密度增加，Ti+/B+束流比增加，从而降低了TiBx涂层B/Ti原子比，涂层残余应力降低、韧性增强，进而提高涂层的结合力。
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公开(公告)号：CN114000115A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111195151.3
申请日：2021-10-13
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种Ti‑B‑N纳米复合涂层及其制备方法，涉及过渡金属硼氮化物涂层的制备方法领域。本发明提供了一种Ti‑B‑N纳米复合涂层的制备方法，包括如下步骤：(1)将基体进行机械研磨、抛光、清洗处理；(2)使用高功率脉冲磁控电源，在基体上溅射TiB2靶，得到Ti‑B‑N纳米复合涂层。本发明通过控制脉冲宽度、N2的体积流量，采用HiPIMS制备得到硬度高、且具有nc‑TiN、nc‑TiB2纳米复合结构的TiBx涂层。
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公开(公告)号：CN108796453B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201810542941.6
申请日：2018-05-30
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明属于涂层制备技术领域，具体涉及一种高温耐磨的AlCrSiN纳米复合涂层及其制备方法。本发明通过采用脉冲电弧离子镀的方法，在基体表面由下至上依次沉积Cr界面植入层、CrN过渡层和AlCrSiN表面功能层。通过实验证明，通过上述技术方案得到的AlCrSiN纳米复合涂层不仅具有优异的高温稳定性和耐磨性能，还具有表面大颗粒少、内应力低、膜基结合强度高等优点，适用于机械零部件、刀模具等产品表面的防护。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111020497A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911282551.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供了一种周期性多层结构AlTiN/AlCrO涂层，包括：基体；设置于所述基体上的AlTiN过渡层；设置于所述AlTiN过渡层上的AlTiN/AlCrO交替层；设置于所述AlTiN/AlCrO交替层上的顶层AlTiN涂层；所述AlTiN/AlCrO交替层是由AlTiN层与AlCrO层交替沉积得到；所述AlTiN/AlCrO交替层中每一个交替单元的厚度为100～800nm；所述每一个交替单元中AlTiN层与AlCrO层的厚度比为1:1～4:1。本发明通过多层结构、调整涂层成分参数、改变涂层厚度和比例，可实现α或γ相的(Al,Cr)2O3稳定生成；具有硬度高、结合力好、耐磨性优异的特性。
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公开(公告)号：CN109023265A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201811108258.8
申请日：2018-09-21
Applicant: 广东工业大学
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/0021 , C23C14/0641 , C23C14/505
Abstract: 本发明涉及氮化物涂层技术领域，尤其涉及CrN/CrNiN纳米多层涂层及其制备方法、纳米多层涂层及其制备方法与应用。本发明公开了CrN/CrNiN纳米多层涂层，CrN/CrNiN纳米多层涂层沉积在合金基体表面；所述CrN/CrNiN纳米多层涂层包括交替层叠设置的CrN层和CrNiN层。该纳米多层涂层韧性好，表面粗糙度低，致密度高，耐腐蚀性好，硬度高，稳定性高，结合力强，解决了现有的氮化物基涂层与合金结合力差稳定性差，且与合金的结合能力差的技术问题。
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公开(公告)号：CN108796453A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810542941.6
申请日：2018-05-30
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明属于涂层制备技术领域，具体涉及一种高温耐磨的AlCrSiN纳米复合涂层及其制备方法。本发明通过采用脉冲电弧离子镀的方法，在基体表面由下至上依次沉积Cr界面植入层、CrN过渡层和AlCrSiN表面功能层。通过实验证明，通过上述技术方案得到的AlCrSiN纳米复合涂层不仅具有优异的高温稳定性和耐磨性能，还具有表面大颗粒少、内应力低、膜基结合强度高等优点，适用于机械零部件、刀模具等产品表面的防护。
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公开(公告)号：CN108456843A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810053431.2
申请日：2018-01-19
Applicant: 广东工业大学
CPC classification number: C23C14/022 , C23C14/025 , C23C14/0641 , C23C14/325
Abstract: 本发明公开了一种高性能TiAlSiN纳米复合涂层及其制备方法和应用，该复合涂层包括Cr结合层、CrN过渡层和TiAlSiN功能层；其中，所述的CrN过渡层中各元素的原子百分比含量为：Cr：40～75at.％和N：25～60at.％，所述的TiAlSiN功能层中各元素的原子百分比含量为：Ti：15～55at.％，Al：14～50at.％，Si：2～12at.％，N：12～53at.％。脉冲电弧制备出的该复合涂层具有非晶a-Si3N4包裹纳米晶nc-TiAlN的纳米复合结构，具有组织结构致密、表面光滑、应力地，且高温下摩擦系数低的特性。主要应用在机械零部件和刀模具表面防护领域。
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公开(公告)号：CN107557736A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201711038401.6
申请日：2017-10-30
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供了一种AlCrSiVN纳米复合涂层的制备方法，包括以下步骤：a)在基体表面使用阴极电弧蒸发沉积CrN过渡层；b)使用高功率脉冲磁控电源溅射V靶，使用直流电弧电源阴极蒸发AlCrSi靶，共沉积AlCrSiVN纳米复合涂层。与现有技术相比，本发明通过拟耦合使用电弧离子镀膜技术及高功率脉冲磁控溅射技术制备得到了AlCrSiVN纳米复合涂层，利用纳米复合结构阻止V元素高温下的快速外扩散行为、增强涂层高温力学性能及抗高温抗氧化能力、抑制高温下钛与涂层之间的扩散反应，并且通过纳米复合结构与掺杂V元素的协同作用，使AlCrSiVN纳米复合涂层表面兼具抗高温氧化、致密性、自润性以及高耐磨特性，从而最终获得具有纳米复合结构、结合力优良且高温下耐磨减摩的AlCrSiVN纳米复合涂层。
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