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公开(公告)号:CN102355960A
公开(公告)日:2012-02-15
申请号:CN201080012131.1
申请日:2010-03-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B08B3/02 , H01L21/304 , H01L31/042
Abstract: 本发明提供能够可靠地去除在薄膜太阳能电池板上以一定的间隔设置的多条细槽内附着的微粒,而且不会损伤表面上的成膜面,不会使薄膜剥离的高压液体喷射清洗装置。对应于薄膜太阳能电池板的各细槽的位置,将喷嘴沿着喷嘴支架的长度方向以一定的间隔排列,用喷嘴支架两侧的支持部在喷嘴支架的长度方向上移动自如地支持喷嘴支架,一边与细槽平行地相对输送太阳能电池板,一边将从喷嘴支架的各喷嘴成一直线状地喷射的高压液体,对太阳能电池板的多条细槽平行喷射进行清洗。
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公开(公告)号:CN102355960B
公开(公告)日:2015-05-06
申请号:CN201080012131.1
申请日:2010-03-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 本发明提供能够可靠地去除在薄膜太阳能电池板上以一定的间隔设置的多条细槽内附着的微粒,而且不会损伤表面上的成膜面,不会使薄膜剥离的高压液体喷射清洗装置。对应于薄膜太阳能电池板的各细槽的位置,将喷嘴沿着喷嘴支架的长度方向以一定的间隔排列,用喷嘴支架两侧的支持部在喷嘴支架的长度方向上移动自如地支持喷嘴支架,一边与细槽平行地相对输送太阳能电池板,一边将从喷嘴支架的各喷嘴成一直线状地喷射的高压液体,对太阳能电池板的多条细槽平行喷射进行清洗。
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