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公开(公告)号：CN114023878A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111284668.X
申请日：2021-11-01
Abstract: 本发明涉及一种基于介质集成波导谐振腔的耿氏二极管振荡信号源及其工作方法，包括：自上而下的顶层、中间层以及底层；顶层为共面波导多层金属馈电和信号输出的结构，中间层为绝缘板材结构，底层为用于耿氏二极管集成的金属结构；贯穿顶层、中间层以及底层的过孔结构。本发明输出频率稳定，结构相对简单，噪声较低，外形小巧，轻量，易于电路集成，成本效益较高。
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公开(公告)号：CN114023878B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202111284668.X
申请日：2021-11-01
Abstract: 本发明涉及一种基于介质集成波导谐振腔的耿氏二极管振荡信号源及其工作方法，包括：自上而下的顶层、中间层以及底层；顶层为共面波导多层金属馈电和信号输出的结构，中间层为绝缘板材结构，底层为用于耿氏二极管集成的金属结构；贯穿顶层、中间层以及底层的过孔结构。本发明输出频率稳定，结构相对简单，噪声较低，外形小巧，轻量，易于电路集成，成本效益较高。
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公开(公告)号：CN112934281B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202110298786.X
申请日：2021-03-20
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种基于周期性结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法，包括由下自上依次生长的衬底层、具有周期性孔状或锯齿状结构的人工表面等离激元金属层和微流通道层。本发明通过光刻、电子束蒸发蒸镀和剥离技术制作人工表面等离激元，采用键合工艺在其表面集成微流通道等微流控模块，利用人工表面等离激元测得的待检测液体指纹峰实现对分子样本种类的检测，具有实时、微量、平面检测、利于集成和可检测样品范围广等优势。
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公开(公告)号：CN112647130B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202011306035.X
申请日：2020-11-20
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种低压化学气相沉积生长氧化镓薄膜的方法，该方法通过低压化学气相沉积生长出氧化镓外延薄膜，然后进行原位后退火处理对薄膜进行处理；原位后退火处理，工艺操作简单，能够促进薄膜的重结晶，引起薄膜表面颗粒的重熔和凝聚，进而降低表面粗糙度；并且还能够改善界面缺陷，显著提高了Ga2O3薄膜的晶体质量。本发明的方法低压化学气相沉积(LPCVD)技术设备较为简单，生长速率较快，重复性较高，成本较低，生长出的氧化镓薄膜，透光率高，质量高。
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公开(公告)号：CN107017310B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201710160989.6
申请日：2017-03-17
Applicant: 山东大学
IPC: H01L29/861 , H01L29/06 , H01L23/58 , H01L23/64 , H01L21/329
Abstract: 本发明涉及一种高功率低噪音的平面耿氏二极管及其制备方法，包括绝缘衬底、沟道层及设置在所述沟道层上的共平面波导，所述共平面波导的谐振腔长度为二分之一谐振波长的整数倍，所述共平面波导在谐振频率下的特征阻抗与负载的阻抗(通常为50欧姆)相等。本发明所述平面耿氏二极管放在共平面波导谐振腔中，使得平面耿氏器件能够工作在谐振模式，极大提高了平面耿氏器件的发射功率、转换效率和频率稳定性，同时降低了相噪音。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104035405A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410239958.6
申请日：2014-05-29
Applicant: 山东大学
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明涉及一种基于太阳能电源和物联网技术的消防天窗控制系统，包括在建筑楼宇顶部安装的消防天窗、市电太阳能电源转换单元、传感器节点网络单元、智能终端单元和消防监控中心。所述市电太阳能电源转换单元包括分别与城市电网和太阳能电池板相连的蓄电池组，所述蓄电池组在市电断供时通过逆变器和互投装置对用户负载供电；所述城市电网还直接通过互投装置对所述用户负载供电；本发明所述的控制系统可以及时的进行烟雾报警并自动开启火灾烟雾系统，适用于公共场所的建筑消防；针对现有消防系统的缺陷，提出利用物联网技术和太阳能作为备用电源，大大的方便了消防管理。
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公开(公告)号：CN101707173A
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200910229779.3
申请日：2009-11-06
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种三维立体全息等离子体显示器件，包括电极网络层和缓冲层，电极网络层和缓冲层间隔层叠，形成立体空间结构；电极网络层由边框、行电极和列电极组成，行电极与列电极分别位于边框的两侧，行电极与行电极之间相互平行，列电极与列电极之间相互平行，行电极与列电极异面正交，两者之间存在空间距离，形成放电空间，放电空间中充满放电气体；缓冲层由透明边框组成，边框上无电极分布，缓冲层将相邻的两个电极网络层分开，为相邻的电极网络层的行列电极提供放电间隙。本发明采用等离子体放电实现了真正三维立体显示器件，该器件提高了三维显示器件的分辨率与清晰度，同时降低了器件的成本。
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公开(公告)号：CN113058668B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202110298787.4
申请日：2021-03-20
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种基于电容性超材料结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法，包括由下自上依次生长的衬底层、具有电容性超材料结构的人工表面等离激元金属层、微流通道层。本发明将具有高电场束缚等特殊传播特性的人工表面等离激元与超材料相结合，利用人工表面等离激元的局域电场增强与流体和光方向一致性提升检测灵敏度，检测范围最大可0到10THz；利用人工表面等离激元上的电容性超材料进一步增强局域电场，利用超材料谐振峰强度和频率的移动来进行检测，提升了芯片的检测灵敏度，检测范围在0到10THz之间。
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公开(公告)号：CN113058668A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110298787.4
申请日：2021-03-20
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种基于电容性超材料结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法，包括由下自上依次生长的衬底层、具有电容性超材料结构的人工表面等离激元金属层、微流通道层。本发明将具有高电场束缚等特殊传播特性的人工表面等离激元与超材料相结合，利用人工表面等离激元的局域电场增强与流体和光方向一致性提升检测灵敏度，检测范围最大可0到10THz；利用人工表面等离激元上的电容性超材料进一步增强局域电场，利用超材料谐振峰强度和频率的移动来进行检测，提升了芯片的检测灵敏度，检测范围在0到10THz之间。
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公开(公告)号：CN110634959B
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201910893666.7
申请日：2019-09-20
Applicant: 山东大学
IPC: H01L29/872 , H01L29/24 , H01L29/47 , H01Q15/00 , G02F1/015
Abstract: 本发明涉及一种基于IGZO肖特基二极管动态调控超材料的方法，IGZO肖特基二极管包括由下自上依次生长的衬底、肖特基电极、非晶铟镓锌氧有源层、欧姆电极，包括步骤如下：(1)将超材料作为肖特基电极，并使非晶铟镓锌氧有源层完全覆盖超材料中的电容性结构，超材料中的电容性结构与非晶铟镓锌氧有源层结合形成肖特基势垒；(2)通过步骤(1)处理后的IGZO肖特基二极管动态调控超材料。本发明实现了对超材料包括透过率、反射率和吸收率在内的电磁特性大幅动态调制，同时不影响超材料结构设计的共振频率，可以被应用到各类超材料器件和具有超材料结构的等离激元器件当中，实现对空间传输的电磁波和表面传输的电磁波的动态调控。
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