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公开(公告)号:CN1983615B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200610162549.6
申请日:2006-11-27
Applicant: 尔必达存储器株式会社
Inventor: 早川努
IPC: H01L27/24 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/82 , H01L21/768 , H01L45/00
CPC classification number: H01L45/1233 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/06 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/16
Abstract: 一种相变存储器件,具有相变层,具有与相变层保持接触的一端的加热器电极,不同种材料的接触栓塞,具有由第一导电材料制成并与该加热器电极的另一端保持接触的第一导电材料栓塞,以及由具有小于第一导电材料的比电阻的第二导电材料构成的第二导电材料栓塞,第一导电材料栓塞和第二导电材料栓塞至少通过其相应侧表面保持互相接触,加热器电极和第二导电材料栓塞互相不是重叠关系,以及电连接到第二导电材料栓塞的导电层。
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公开(公告)号:CN100578804C
公开(公告)日:2010-01-06
申请号:CN200610162557.0
申请日:2006-11-27
Applicant: 尔必达存储器株式会社
IPC: H01L27/24 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/82 , H01L21/768 , H01L45/00
CPC classification number: H01L45/1233 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/06 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/16
Abstract: 相变存储器件具有:相变层;加热器电极,其具有与所述相变层保持接触的端面;不同种材料的接触栓塞,其具有第一导电材料栓塞,所述第一导电材料栓塞由第一导电材料制成,并且与所述加热器电极的另一个端面保持接触,和第二导电材料栓塞,其由具有小于所述第一导电材料的比电阻的第二导电材料制成,所述第一导电材料栓塞和所述第二导电材料栓塞堆叠在一个接触孔中,所述加热器电极和所述第二导电材料栓塞以相互重叠的关系彼此保持接触;以及导电层,其电连接到所述第二导电材料栓塞。
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公开(公告)号:CN1983616A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200610162557.0
申请日:2006-11-27
Applicant: 尔必达存储器株式会社
IPC: H01L27/24 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/82 , H01L21/768 , H01L45/00
CPC classification number: H01L45/1233 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/06 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/16
Abstract: 相变存储器件具有:相变层;加热器电极,其具有与所述相变层保持接触的端面;不同种材料的接触栓塞,其具有第一导电材料栓塞,所述第一导电材料栓塞由第一导电材料制成,并且与所述加热器电极的另一个端面保持接触,和第二导电材料栓塞,其由具有小于所述第一导电材料的比电阻的第二导电材料制成,所述第一导电材料栓塞和所述第二导电材料栓塞堆叠在一个接触孔中,所述加热器电极和所述第二导电材料栓塞以相互重叠的关系彼此保持接触;以及导电层,其电连接到所述第二导电材料栓塞。
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公开(公告)号:CN1983615A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200610162549.6
申请日:2006-11-27
Applicant: 尔必达存储器株式会社
Inventor: 早川努
IPC: H01L27/24 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/82 , H01L21/768 , H01L45/00
CPC classification number: H01L45/1233 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/06 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/16
Abstract: 一种相变存储器件,具有相变层,具有与相变层保持接触的一端的加热器电极,不同种材料的接触栓塞,具有由第一导电材料制成并与该加热器电极的另一端保持接触的第一导电材料栓塞,以及由具有小于第一导电材料的比电阻的第二导电材料构成的第二导电材料栓塞,第一导电材料栓塞和第二导电材料栓塞至少通过其相应侧表面保持互相接触,加热器电极和第二导电材料栓塞互相不是重叠关系,以及电连接到第二导电材料栓塞的导电层。
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