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公开(公告)号:CN101231301A
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200810004550.5
申请日:2008-01-22
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供一种角速度传感器。该角速度传感器包括:第一音叉振动器,所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂;第二音叉振动器,所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂;以及双平衡架部,所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部,并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。
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公开(公告)号:CN101162144A
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200710152449.X
申请日:2007-10-12
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/097 , H01L41/08
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H9/21 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明提供了振动传感器及其制造方法。该振动传感器包括:音叉振动器,其具有基座和从所述基座延伸出的多个臂;安装部,其用于安装所述音叉振动器;以及支撑构件,其将所述音叉振动器安装在所述安装部上,并且具有窄部。
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公开(公告)号:CN101059346A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200710096499.0
申请日:2007-04-19
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器,这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部,并且所述多个音叉式振动器之间的谐振频率差至少为所述多个音叉式振动器的平均谐振频率的百分之二。
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公开(公告)号:CN1913143A
公开(公告)日:2007-02-14
申请号:CN200610115412.5
申请日:2006-08-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H01L23/488
CPC classification number: G01C19/5719 , B81B2201/0242 , B81B2201/042 , B81B2207/097 , B81C1/00301 , H01L2224/48137 , H01L2224/73265 , H01L2924/30107 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体器件,其包括:芯片,其具有基底半导体层、设置在所述基底半导体层上的绝缘层,以及设置在所述绝缘层上的上半导体层;安装基板,所述芯片在所述基底半导体层处被安装在该安装基板上;以及连接部分,用于对设置在所述安装基板上的第一端子与所述基底半导体层的表面或设置在该表面上的第二端子进行电连接。
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公开(公告)号:CN1677068A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510063778.8
申请日:2005-04-01
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/18 , G01P21/00 , G01P2015/084
Abstract: 本发明提供用于具有多轴传感器的力传感器装置的应力检测方法和采用此方法的力传感器装置,所述力传感器装置的安装角度是任意的。该应力检测方法包括:检测轴相互正交的第一和第二力传感器。当第一力传感器的检测轴与被检测应力Ax的方向形成角度θ,并且在与被检测应力Ax的方向相垂直的方向上的应力分量是Az时,求得第一力传感器的轴方向的输出Apx为Apx=αx(Ax×cosθ+Az×sinθ),并且求得第二力传感器的轴方向的输出Apz为Apz=αz(Ax×sinθ+Az×cosθ),以及当αx和αz分别是第一力传感器和第二力传感器的检测灵敏度系数时,将第二力传感器的检测灵敏度系数αz设置为αz=αxtanθ,求得被检测应力Ax为Ax=(Apx-Apz)/αx(cosθ-tanθ×sinθ)。
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公开(公告)号:CN101086507A
公开(公告)日:2007-12-12
申请号:CN200710108576.X
申请日:2007-06-06
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01H11/08
Abstract: 本发明提供一种振动传感器。该振动传感器包括:振动体;驱动电路,其使所述振动体振动;感测电路,其参照与所述驱动电路的驱动信号相关联的基准信号,并基于与所述振动体的振动相关的感测信号来检测所述振动体的物理状态;和电容器,其设置在所述驱动电路与地之间。该电容器具有一电容值温度特性,该电容值温度特性被限定用以补偿所述感测信号对所述振动体的振动的灵敏度的温度特性的至少一部分。
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公开(公告)号:CN101059348A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200710104437.X
申请日:2007-04-20
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括:第一音叉式振动器和第二音叉式振动器,所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器中的每一个均分别包括基部和从所述基部延伸的多个臂部;和安装部,该安装部安装所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器,其中,所述第一音叉式振动器的臂部的一端与所述第二音叉式振动器的侧面相对;并且连接所述第一音叉式振动器和所述安装部的第一线沿着所述第一音叉式振动器的宽度方向延伸。
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公开(公告)号:CN1841020A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610073334.7
申请日:2006-03-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器,包括:音叉谐振器,其具有从基底延伸的多个臂;支撑所述基底的单引线框架;以及支撑所述单引线框架的外壳。所述外壳和引线框架在它们之间限定了空间。
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公开(公告)号:CN1790029A
公开(公告)日:2006-06-21
申请号:CN200510102738.X
申请日:2005-09-09
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01P15/02
CPC classification number: G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/123 , G01P2015/084 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 加速度传感器。具有较好抗冲击性的结构被提出用于伞型加速度传感器。该加速度传感器,包括:支撑部分,其下端固定到基板上;梁部分,在其上形成检测元件,检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号,梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接;被悬起的重物,其与所述梁部分的另一端相连接;和制动器基板,其带有窗孔部分,为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘,与焊盘连接的导线经过该窗孔部分。该制动器基板限制了重物向上的过度摆动。
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公开(公告)号:CN1677056A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510059704.7
申请日:2005-03-29
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 一种惯性传感器,包括:传感部分,其具有由梁支撑的配重,该配重是可运动部分;以及限制配重的可运动范围的配重止动件,该配重止动件以给定间距设置在配重的附近,并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。
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