制作金属图案的方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101093671A

    公开(公告)日:2007-12-26

    申请号:CN200610136673.5

    申请日:2006-11-09

    CPC classification number: G11B5/3912 G11B5/3163 G11B5/855

    Abstract: 本发明提供了一种制作金属图案的方法。即使在基板上具有研磨速率不同的材料,如金属层和绝缘层,该制作金属图案的方法也可以研磨基板的表面以形成平坦表面,并且可以把金属层无波动地研磨至预定厚度。该方法包括以下步骤:在基板表面上形成绝缘膜以覆盖具有预定图案的金属层的表面,接着在该绝缘膜的表面上形成止刻膜;形成仅暴露所述绝缘膜的覆盖所述金属层的突起部分的抗蚀剂图案,接着从所述突起部分的表面去除所述止刻膜,以在所述绝缘膜的被所述抗蚀剂图案覆盖的表面上形成止刻层;研磨所述基板表面,以把所述突起部分研磨到由所述止刻层限制的位置;以及从所述绝缘膜的表面去除所述止刻层,接着在所述基板表面上执行最终研磨。

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