曝光装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1532577A

    公开(公告)日:2004-09-29

    申请号:CN200410031791.0

    申请日:2004-03-25

    Inventor: 高田伦久

    CPC classification number: G03B27/54 G03F7/70258 G03F7/70275 G03F7/70291

    Abstract: 本发明提供一种能将空间光调制元件的像,准确地投影到成像面上的曝光装置。配置4分割探测器(26),使存在于曝光区中1个角的4个像素(481)、(482)、(483)、(484)(曝光图像的像素),分别与4分割探测器(26)的4个二极管(261)、(262)、(263)、(264)相对应。DMD(10)与微透镜阵列(18)之间存在相对位置偏移时,4分割探测器(26)的输出信号(P1)、(P2)、(P3)、(P4)会产生差异,所以可检测出由DMD(10)的微型镜(像素部分)反射的光束与对应微透镜之间的偏移(光束位置的偏移)。根据检测的偏移量,进行调整微透镜阵列(18)的位置,从而消除了位置偏移。

    图案曝光方法和图案曝光设备

    公开(公告)号:CN101300528A

    公开(公告)日:2008-11-05

    申请号:CN200680041182.0

    申请日:2006-09-05

    Abstract: 将安置有光敏层的带-样工件(11)以工件输送速度V在工件输送方向F上输送。照射部(30)与工件输送速度V相同步的曝光周期T照射光掩模(29)。在距离带-样工件(11)的贴近间隙处布置光掩模(29)。在带-样工件(11)上曝光在光掩模(29)上的掩模图案(33),以在上面形成周期图案。

    像素位置特定方法、图像偏移修正方法、及图像形成装置

    公开(公告)号:CN1573414A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN200410048578.0

    申请日:2004-06-08

    Inventor: 高田伦久

    Abstract: 提供像素位置特定方法,图像偏移修正方法,以及图像形成装置。第1曝光头连接点附近的第1连接像素打开,沿Y轴方向移动光束位置检测机构,在受光面上检测XY坐标中的第1曝光光束位置,将第2曝光头连接点附近的第2连接像素打开,沿Y轴方向移动上述光束位置检测机构,检测上述受光面上的曝光光束的XY坐标位置,由上述光束位置检测机构在Y轴方向上的移动量,和在上述受光面上的第1曝光头和上述第2曝光头曝光光束位置,特定上述第1和第2特定像素的位置。在多头曝光装置中减小由各曝光头形成的图像之间的偏移。

    图案曝光方法和图案曝光设备

    公开(公告)号:CN101300528B

    公开(公告)日:2010-12-29

    申请号:CN200680041182.0

    申请日:2006-09-05

    Abstract: 将安置有光敏层的带-样工件(11)以工件输送速度V在工件输送方向F上输送。照射部(30)与工件输送速度V相同步的曝光周期T照射光掩模(29)。在距离带-样工件(11)的贴近间隙处布置光掩模(29)。在带-样工件(11)上曝光在光掩模(29)上的掩模图案(33),以在上面形成周期图案。

    投影曝光装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1550875A

    公开(公告)日:2004-12-01

    申请号:CN200410043359.3

    申请日:2004-05-08

    CPC classification number: G03B27/54 G03F7/70258 G03F7/70308

    Abstract: 在感光材料(150)和像一侧远心的第二成像光学系统(52)之间,配置具有调节通过第二成像光学系统(52)在感光材料(151)上成像的像的焦点的楔形棱镜对(540)的空气间隔调节部(54)。用DMD80将从光源部件(60)发出,通过DMD照射光学系统(70)传播的光进行空间光调制,形成光的2维图案,使空间光调制的2维图案通过光学系统(50)和所述空气间隔调节部(54),在感光材料(150)上成像,将该2维图案投影到感光材料(150)上,进行曝光。在投影曝光装置中,更容易并且以更短时间进行将空间调制的2维图案投影到感光材料上时的对焦。

    曝光装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100342261C

    公开(公告)日:2007-10-10

    申请号:CN200410031791.0

    申请日:2004-03-25

    Inventor: 高田伦久

    CPC classification number: G03B27/54 G03F7/70258 G03F7/70275 G03F7/70291

    Abstract: 本发明提供一种能将空间光调制元件的像,准确地投影到成像面上的曝光装置。配置4分割探测器(26),使存在于曝光区中1个角的4个像素(481)、(482)、(483)、(484)(曝光图像的像素),分别与4分割探测器(26)的4个二极管(261)、(262)、(263)、(264)相对应。DMD(10)与微透镜阵列(18)之间存在相对位置偏移时,4分割探测器(26)的输出信号(P1)、(P2)、(P3)、(P4)会产生差异,所以可检测出由DMD(10)的微型镜(像素部分)反射的光束与对应微透镜之间的偏移(光束位置的偏移)。根据检测的偏移量,进行调整微透镜阵列(18)的位置,从而消除了位置偏移。

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