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公开(公告)号：CN100478785C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200580013937.1
申请日：2005-02-25
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/20 , G03F7/027 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/11 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的是提供图案形成方法，所述图案形成方法由于抑制形成在图案形成材料上的图像的变形，可以高度精细和精确以及足够效率地形成永久图案如布线图案。为了达到上述目的，提供一种图案形成方法，该方法包括：调制由激光源辐射出的激光束、补偿调制的激光束以及用调制且补偿的激光束曝光光敏层，其中将所述光敏层安置在衬底上以形成图案形成材料，所述调制是通过包含多个成像部分的激光调制器进行的，所述成像部分每个都能够接收激光束和输出调制的激光束，并且所述补偿是通过将调制的激光束通过多个微透镜传输进行的，每一个所述微透镜都具有能够补偿由于成像部分的输出表面畸变所致的像差的非球形表面，而且所述多个微透镜被排列成微透镜阵列。
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公开(公告)号：CN101263423A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200680033451.9
申请日：2006-09-01
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供相对于400～410nm波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响、图案再现性出色、图案形状的偏差被极度抑制并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物等。为此，该感光性组合物等的特征在于，至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感剂，该增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂。
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公开(公告)号：CN101313249A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200680043208.5
申请日：2006-11-21
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/11 , G02F1/1335 , B32B27/36 , G03F7/004 , G02B5/20
CPC classification number: G03F7/0007 , G02F1/133512 , G03F7/0046 , G03F7/11
Abstract: 本发明提供一种依次具有临时支撑体、含有具有聚合性基的氟化合物的表面处理层和与该表面处理层接触的感光性树脂层的感光性转印材料。
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公开(公告)号：CN101103310A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200580047044.9
申请日：2005-11-24
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/0007 , G03F7/027
Abstract: 本发明的目的在于，通过使感光层中所含的粘合剂的I/O值及玻璃化温度都在一定的数值范围内，来提供在析像度及遮盖性方面优良，而且在显影性方面也优良，并且在抗蚀剂剥离性方面优良的图案形成材料；以及具备了该图案形成材料的图案形成装置及使用了该图案形成材料的图案形成方法。为此，提供一种图案形成材料，其特征是，在支撑体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该粘合剂的I/O值为0.300～0.650，并且酸价为130～250(mgKOH/g)。所述粘合剂含有共聚物，该共聚物含有30质量％以上的构成I/O值为0.35以下的均聚物的单体。
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公开(公告)号：CN1641481A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN200410100674.5
申请日：2004-12-08
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 一种感光性转印薄片、感光性叠层体、形成图像图案的方法、形成配线图案的方法，使用在支撑体上按顺序层叠有含有粘结剂、聚合性化合物以及光聚合引发剂的第一感光层，和含有聚合性化合物的阻挡层，和含有粘结剂、聚合性化合物以及光聚合引发剂并且具有比第一感光层的感光度相对高的感光度的第二感光层的感光性转印薄片。另外，利用在基体上按顺序层叠有含有粘结剂、聚合性化合物以及光聚合引发剂的第二感光层，和含有聚合性化合物的阻挡层，和含有粘结剂、聚合性化合物以及光聚合引发剂并且具有比第二感光层的感光度相对低的感光度的第一感光层的感光性叠层体形成图像。根据本发明，在图像内容易形成厚度不同的所希望的图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100433254C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200580004597.6
申请日：2005-02-04
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/004 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/7005 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/70275 , G03F7/70291 , G03F7/70808
Abstract: 本发明的目的是提供图案形成方法，该方法可以形成具有良好细度和高精确性以及具有因抑制在图案形成材料上所形成的图像变形而产生的充足效率的永久图案，比如布线图案。为了实现该目的，提供了包括如下的图案形成方法：调制从激光源辐发射的激光束，补偿调制的激光束，以及由调制且补偿的激光束曝光光敏层，其中将所述光敏层安置在载体上以形成图案形成材料，所述调制是由包括多个成像部分的激光调制器进行的，每个成像部分都能够接收激光束和输出调制的激光束，以及所述补偿是通过使调制的激光束经过多个微透镜传输进行的，每个微透镜都具有能够补偿因成像部分的输出表面变形所导致的像差的非球形表面，并且将所述多个微透镜排列成为微透镜阵列。
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公开(公告)号：CN101142525A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200580049062.0
申请日：2005-12-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种图案形成材料，其中，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，同时所述聚合性化合物包括在分子中具有1个聚合性基的化合物或者在分子中至少具有3个以上聚合性基的化合物，而且在对所述感光层进行曝光显影时，使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1～20mJ/cm2。
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公开(公告)号：CN101137937A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200680007540.6
申请日：2006-01-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供即使是高感度的感光层也能够同时具有优异的显像性和粘性、而且通过抑制感光层上成像的像的变形可以高精细地且高效地形成适于制造含有封装基板的印刷配线基板等的图形、半导体领域中的高精细的永久图形的图形形成材料以及图形形成方法和图形。因此，提供一种图形形成材料，所述图形形成材料至少具有使用感光性组合物得到的感光层，所述感光性组合物至少含有：环氧丙烯酸酯化合物的至少1种和侧链具有丙烯酰基和酸性基团的乙烯基共聚物的至少1种的粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂和热交联剂，在对该感光层进行曝光、显像时，在该曝光和显像后不使所述感光层曝光的部分的厚度发生变化的所述曝光中所使用的光的最小能量为0.1～80mJ/cm2。
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公开(公告)号：CN1950753A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580013937.1
申请日：2005-02-25
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/20 , G03F7/027 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/11 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的是提供图案形成方法，所述图案形成方法由于抑制形成在图案形成材料上的图像的变形，可以高度精细和精确以及足够效率地形成永久图案如布线图案。为了达到上述目的，提供一种图案形成方法，该方法包括：调制由激光源辐射出的激光束、补偿调制的激光束以及用调制且补偿的激光束曝光光敏层，其中将所述光敏层安置在衬底上以形成图案形成材料，所述调制是通过包含多个成像部分的激光调制器进行的，所述成像部分每个都能够接收激光束和输出调制的激光束，并且所述补偿是通过将调制的激光束通过多个微透镜传输进行的，每一个所述微透镜都具有能够补偿由于成像部分的输出表面畸变所致的像差的非球形表面，而且所述多个微透镜被排列成微透镜阵列。
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公开(公告)号：CN111093362B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN201880060032.7
申请日：2018-09-25
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种用于得到咖啡酰奎尼酸化合物的含有率高的植物的、植物的生产方法。并且，课题在于还提供一种植物加工品的制造方法。本发明的饰部的生产方法具有：使选自包括除红薯以外的薯类、旋花科植物及菊科植物的组中的至少一种植物生长的工序；及使用实质上不含有硝酸根离子及磷酸根离子的培养液对生长的植物进行营养液栽培的工序。
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