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公开(公告)号：CN106734458B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201510836669.9
申请日：2015-11-25
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种聚焦环凸台的加工方法，包括：提供棒材；利用冲压法对所述棒材进行加工，使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸缘，另一端形成初始台体，所述初始凸缘和初始台体构成初始凸台，所述棒材受挤压的端部为第一端；对所述初始凸台进行加工，使所述初始凸缘加工为所述凸缘且使所述初始台体加工为所述台体。其中，通过冲压的方法对所述棒材进行加工。由于冲压的方法可以使棒材第一端凸出棒材表面，而形成所述凸缘。因此，所述棒材的直径可以小于所述凸缘的直径，从而节约棒材坯料。此外，通过冲压的方法加工凸台不需要夹具，从而节约了为满足夹具夹持作用而产生的材料浪费。因此，节约了棒材坯料，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN106734458A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510836669.9
申请日：2015-11-25
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
CPC classification number: B21D22/02 , C23C14/3407
Abstract: 本发明提供一种聚焦环凸台的加工方法，包括：提供棒材；利用冲压法对所述棒材进行加工，使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸缘，另一端形成初始台体，所述初始凸缘和初始台体构成初始凸台，所述棒材受挤压的端部为第一端；对所述初始凸台进行加工，使所述初始凸缘加工为所述凸缘且使所述初始台体加工为所述台体。其中，通过冲压的方法对所述棒材进行加工。由于冲压的方法可以使棒材第一端凸出棒材表面，而形成所述凸缘。因此，所述棒材的直径可以小于所述凸缘的直径，从而节约棒材坯料。此外，通过冲压的方法加工凸台不需要夹具，从而节约了为满足夹具夹持作用而产生的材料浪费。因此，节约了棒材坯料，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN103787651B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210426065.3
申请日：2012-10-30
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC: C04B35/457 , C04B35/622 , C23C14/06 , C23C14/34
Abstract: 一种铟锡氧化物靶材的制作方法，包括：提供ITO粉料；采用静压工艺将ITO粉料预压成型，形成第一ITO靶材坯料；将第一ITO靶材坯料放入第一包套并抽真空；采用冷等静压工艺对第一包套内的第一ITO靶材坯料进行处理，形成第二ITO靶材坯料；去除所述第一包套后，将第二ITO靶材坯料放入第二包套，并抽真空；采用热等静压工艺对所述第二包套进行处理，形成第三ITO靶材坯料；去除所述第二包套后，对所述第三ITO靶材坯料进行机械加工形成ITO靶材。本发明突破了ITO粉料不易成型，易分解，会被还原等特点带来的加工ITO靶材的局限，能形成具有优良的致密度、内部组织结构的均匀性的ITO靶材。
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公开(公告)号：CN108607943A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201611129168.8
申请日：2016-12-09
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种锻造方法及靶材的形成方法，其中，锻造方法包括：提供铸锭，所述铸锭为柱体；对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。其中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒，能够在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造，从而能够使铸锭在各个方向上均受力，从而能够充分对晶粒进行细化，减少所形成靶材表面的乱花。
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公开(公告)号：CN106628588A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201510715897.0
申请日：2015-10-28
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种聚焦环的包装方法和包装工具，其中，所述包装方法包括：提供聚焦环，所述聚焦环包括两个相对的端部，聚焦环端部相对的位置处形成有开口；在开口中放入保护塞；将带有保护塞的聚焦环放入真空袋；对所述真空袋进行抽真空和密封处理。本发明的聚焦环的包装方法中，在将聚焦环装入真空袋之前，在开口处放入保护塞，所述保护塞能够起固定聚焦环两个端部的作用，从而在后续对真空袋进行抽真空的过程中，减小聚焦环端部因产生相对位移而使聚焦环发生的变形，且能够减小两端部的摩擦和错位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103692151B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201210367228.5
申请日：2012-09-28
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明提供了一种钛聚焦环的制造方法，包括：热锻处理、冷轧、以及第一热处理，卷圆和第二热处理步骤。其中，当钛聚焦环坯料经热锻处理、冷轧工艺后，在后续两步热处理步骤中，只需将钛聚焦环坯料置于普通的热处理炉（非真空处理炉）中，并配合特定的条件下先后进行两次热处理，及在热处理工序后配合特定的冷却工艺、机械加工工艺，即可制得微观晶粒细小，结构均匀的钛聚焦环。相比于以往普通热处理炉处进行的热处理后钛聚焦环坯料出现的深度氧化现象而造成产品的报废，采用本发明制备的钛聚焦环完全符合溅射工艺的要求；而与现有的真空热处理工艺相比，本发明在保证钛聚焦环质量的同时，简化了制备工艺，降低了工艺成本。
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公开(公告)号：CN104213083A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310217090.5
申请日：2013-06-03
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种钨钛靶材的制作方法，包括，将废弃靶材进行机械破碎，形成颗粒，所述废弃靶材为钨钛靶材；提供用于制作靶材的粉末原料；将所述颗粒及粉末原料混合后放入模具中，进行热压烧结，形成靶材；热压烧结后，冷却，取出靶材。采用本发明提供的靶材的制作方法可以大大提高靶材的利用率，从而避免靶材材料的浪费，节省成本。另外，相对于直接将废弃靶材与粉末原料进行热压烧结的工艺来说，本发明对废弃靶材进行回收时的热压烧结工艺温度低、压强低，从而可以进一步节省工艺成本。
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公开(公告)号：CN106628588B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201510715897.0
申请日：2015-10-28
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种聚焦环的包装方法和包装工具，其中，所述包装方法包括：提供聚焦环，所述聚焦环包括两个相对的端部，聚焦环端部相对的位置处形成有开口；在开口中放入保护塞；将带有保护塞的聚焦环放入真空袋；对所述真空袋进行抽真空和密封处理。本发明的聚焦环的包装方法中，在将聚焦环装入真空袋之前，在开口处放入保护塞，所述保护塞能够起固定聚焦环两个端部的作用，从而在后续对真空袋进行抽真空的过程中，减小聚焦环端部因产生相对位移而使聚焦环发生的变形，且能够减小两端部的摩擦和错位。
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公开(公告)号：CN103785838B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201210429639.2
申请日：2012-11-01
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
Abstract: 一种铬靶材的制作方法，包括：首先提供铬粉末；接着将铬粉末放置入真空包套并抽真空；然后采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型，形成铬靶材；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。采用本发明提供的铬靶材的制作方法，避免使用模具，同时，形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性，而且，铬靶材的纯度也能满足要求越来越高的溅射工艺。
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公开(公告)号：CN103418798B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210161850.0
申请日：2012-05-22
Applicant: 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC: B22F9/16
Abstract: 一种利用钛残靶制备高纯钛粉的方法，包括：切割步骤，切割钛残靶成钛样块；酸洗步骤，酸洗所述钛样块；氢化步骤，氢化所述钛样块形成氢化钛样块；成粉步骤，破碎所述氢化钛样块成氢化钛粉；脱氢步骤，加热去除所述氢化钛粉内的氢，得到高纯钛粉。本发明所提供的制备高纯钛粉的方法可回收利用钛残靶，制备用途广泛的高纯钛粉，使得钛资源得到合理有效的利用，并且生产成本低，经济效益高。
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