公开(公告)号：CN115598098A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211121268.1

申请日：2022-09-15

Applicant: 宁波永新光学股份有限公司(CN)

Inventor： 陈建军 ,  郑驰 ,  崔志英 ,  毛磊 ,  赵宇 ,  沈开远 ,  张琦

IPC: G01N21/64 ,  G02B21/00

Abstract: 本发明公开了一种激光共聚焦显微镜荧光光谱探测模块，包括沿光路依次设置的第一凹面反射镜、衍射光栅、第二凹面反射镜、光线分离模块和多个光电倍增管，特点是采用光栅作为色散元件，通过设置第一凹面反射镜、衍射光栅和第二凹面反射镜等光学元件的参数和偏转角来实现像差的校正和平衡，并通过光线分离模块将不同的波长分配到对应的光电倍增管，优点是不仅对光栅色散方向的像差进行了校正，充分保证光谱探测模块的分辨率，而且对其他方向的像差进行了校正和平衡，且最终的光斑RMS(均方根)小于光电倍增管的有效感光面尺寸，从而保证所有能量均能被光电倍增管有效探测。

公开(公告)号：CN115598059A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211030590.3

申请日：2022-08-26

Applicant: 宁波永新光学股份有限公司(CN)

Inventor： 王爽 ,  崔志英 ,  张克奇 ,  邱元芳 ,  郑驰 ,  张琦

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/95

Abstract: 本发明公开了一种用于半导体缺陷检测的图像信息的获取装置，包括依次设置的光源、光束扩束准直模块、样品载物台、显微镜头、CCD成像探测器和控制电脑，在显微镜头与CCD成像探测器之间设置有偏振检测模块，本发明在短波红外显微成像基础上引入偏振成像，不仅能够获得缺陷的强度信息，也能够获得缺陷的偏振信息，能够提供了多至8个的图像信息，对于硅、锗、砷化镓、磷化铟等大多数不透明的半导体材料，有利于分析裂纹、翘曲、划痕、固体颗粒、金属污染、有机污染等缺陷特征，完成不同种类缺陷的快速识别判断和定位。