一种激光共聚焦显微镜的荧光光谱探测模块

    公开(公告)号:CN115598098A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211121268.1

    申请日:2022-09-15

    Abstract: 本发明公开了一种激光共聚焦显微镜荧光光谱探测模块,包括沿光路依次设置的第一凹面反射镜、衍射光栅、第二凹面反射镜、光线分离模块和多个光电倍增管,特点是采用光栅作为色散元件,通过设置第一凹面反射镜、衍射光栅和第二凹面反射镜等光学元件的参数和偏转角来实现像差的校正和平衡,并通过光线分离模块将不同的波长分配到对应的光电倍增管,优点是不仅对光栅色散方向的像差进行了校正,充分保证光谱探测模块的分辨率,而且对其他方向的像差进行了校正和平衡,且最终的光斑RMS(均方根)小于光电倍增管的有效感光面尺寸,从而保证所有能量均能被光电倍增管有效探测。

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