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公开(公告)号：CN115598059A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211030590.3
申请日：2022-08-26
Applicant: 宁波永新光学股份有限公司(CN)
Abstract: 本发明公开了一种用于半导体缺陷检测的图像信息的获取装置，包括依次设置的光源、光束扩束准直模块、样品载物台、显微镜头、CCD成像探测器和控制电脑，在显微镜头与CCD成像探测器之间设置有偏振检测模块，本发明在短波红外显微成像基础上引入偏振成像，不仅能够获得缺陷的强度信息，也能够获得缺陷的偏振信息，能够提供了多至8个的图像信息，对于硅、锗、砷化镓、磷化铟等大多数不透明的半导体材料，有利于分析裂纹、翘曲、划痕、固体颗粒、金属污染、有机污染等缺陷特征，完成不同种类缺陷的快速识别判断和定位。
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