一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚

    公开(公告)号:CN222666097U

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202421386440.0

    申请日:2024-06-18

    Abstract: 本实用新型公开了一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚,包括右卡口式内置薄坩埚以及一侧外壁上通过双柱校准对插结构、卡口对接结构安装的左卡口式内置薄坩埚,右卡口式内置薄坩埚、左卡口式内置薄坩埚组成柱状石墨薄坩埚,所述右卡口式内置薄坩埚、左卡口式内置薄坩埚内部的一端分别固定有左石墨半环、右石墨半环,左石墨半环、右石墨半环用于组成环状件。本实用新型通过石墨坩埚盖底端的弧形对插结构限位住左、右薄坩埚,可以确保在提拉的过程中左右坩埚不会分离,从而避免了碳化硅粉料的泄漏。

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