一种自定心式压电尺蠖直线电机

    公开(公告)号:CN110138265A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910358063.7

    申请日:2019-04-30

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种自定心式压电尺蠖直线电机,包括输出轴,输出轴套设有驱动单元,驱动单元的两端分别设有第一钳位单元和第二钳位单元,第一钳位单元和第二钳位单元分别钳位于输出轴;驱动单元包括沿着输出轴轴向设置的第五刚性部和第六刚性部,第五刚性部和第六刚性部之间设有活动间隙,第五刚性部和第六刚性部之间还连有弹性件,第五刚性部和第六刚性部之间顶设有驱动用压电执行器。与现有压电尺蠖直线电机相比,本发明的优点是电机整体结构简单、紧凑;免去了装配及调节过程;易于输出轴的装配和调节,能减小输出轴与钳位机构之间的摩擦磨损及提高输出轴的驱动力;电机能自锁;使输出轴能自定心,能提高输出轴的运动精度。

    两转动一平动大行程低厚度大中空并联压电微动平台

    公开(公告)号:CN109702500A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201910092013.9

    申请日:2019-01-30

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了两转动一平动大行程低厚度大中空并联压电微动平台,包括间隙活动设于底座上方的动台面,底座设有呈矩形顺次分布的第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元;第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元独立伸缩且设于动台面。设垂直于动台面为z轴,第二驱动单元到第一驱动单元为y轴,第二驱动单元到第三驱动单元为x轴,则动台面能完成沿着z轴上下升降,并能完成x轴倾斜转动和y轴倾斜转动。本发明的优点是结构简单紧凑、位移行程大、无位移耦合、动台面及底座具有大中空,易于集成位移传感器。

    两转动一平动大行程低厚度大中空并联压电微动平台

    公开(公告)号:CN109702500B

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201910092013.9

    申请日:2019-01-30

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了两转动一平动大行程低厚度大中空并联压电微动平台,包括间隙活动设于底座上方的动台面,底座设有呈矩形顺次分布的第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元;第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元独立伸缩且设于动台面。设垂直于动台面为z轴,第二驱动单元到第一驱动单元为y轴,第二驱动单元到第三驱动单元为x轴,则动台面能完成沿着z轴上下升降,并能完成x轴倾斜转动和y轴倾斜转动。本发明的优点是结构简单紧凑、位移行程大、无位移耦合、动台面及底座具有大中空,易于集成位移传感器。

    一种大量程高频响光学共焦式测头

    公开(公告)号:CN111474734A

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN202010283381.4

    申请日:2020-04-13

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种大量程高频响光学共焦式测头,包括激光器、准直扩束镜组件、偏振分光棱镜组件、λ/4波片组件和物镜,偏振分光棱镜组件在反射光路方向上连有非偏振分光棱镜组件;非偏振分光棱镜组件在透射光路方向上顺次设有第一成像透镜组件、第一针孔光阑组件和第一光电探测器组件,在反射光路上顺次设有第二成像透镜组件、第二针孔光阑组件和第二光电探测器组件;此外还有第一调节机构内和第二调节机构内;λ/4波片组件和物镜之间设有活动间隙,并且配装有电容传感器;物镜配装有能带动物镜轴向移动的位移放大组件。本发明结构简单紧凑、针孔光阑与光电探测器位置易于调节、纵向测量范围大、频率响应高。

    一种压电粘滑直线电机

    公开(公告)号:CN110190774B

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201910358065.6

    申请日:2019-04-30

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种压电粘滑直线电机,包括支架,支架包括互相平行的第一立柱和第二立柱,第一立柱和第二立柱架设有轴体,轴体上间隔设有第一限位体和第二限位体,轴体在第一限位体和第二限位体之间套设有管状的压电执行器和柔性套筒;柔性套筒包括顶设于压电执行器的第一刚性体,顶设于第二限位体的第二刚性体,以及连接第一刚性体和第二刚性体的柔性折叠梁;第一刚性体的外部套设有运动套筒;第一刚性体的外径分别大于第二刚性体、第二限位体、柔性折叠梁、压电执行器。本发明的优点是电机整体结构简单、紧凑;柔性套筒为一体化结构,避免了装配及调节过程;能调节运动套筒与柔性套筒之间的摩擦力;运动套筒能产生严格的直线运动。

    一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳

    公开(公告)号:CN110788834A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201911104253.2

    申请日:2019-11-13

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳,包括第一钳指和第二钳指,第一钳指和第二钳指的尾部设有基座,基座与第一钳指之间顺次连有第三柔性铰链和第一直角形连杆,基座与第二钳指之间顺次连有第四柔性铰链和第二直角形连杆,第一直角形连杆和第二直角形连杆之间设有一个以上的x向驱动单元,并通过第一柔性铰链连于第一直角形连杆,通过第二柔性铰链连于第二直角形连杆;还包括作用于基座的y向驱动单元,以及作用于y向驱动单元的z向驱动单元。第一钳指和第二钳指不仅能沿钳指的厚度方向和沿钳指高度方向产生微运动,还能沿钳指的长度方向产生微运动,形成x、y、z三个自由度的微运动,且不易破坏、制作成本低。

    一种压电粘滑直线电机

    公开(公告)号:CN110190774A

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201910358065.6

    申请日:2019-04-30

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种压电粘滑直线电机,包括支架,支架包括互相平行的第一立柱和第二立柱,第一立柱和第二立柱架设有轴体,轴体上间隔设有第一限位体和第二限位体,轴体在第一限位体和第二限位体之间套设有管状的压电执行器和柔性套筒;柔性套筒包括顶设于压电执行器的第一刚性体,顶设于第二限位体的第二刚性体,以及连接第一刚性体和第二刚性体的柔性折叠梁;第一刚性体套设有运动套筒;第一刚性体的外径分别大于第二刚性体、第二限位体、柔性折叠梁、压电执行器。本发明的优点是电机整体结构简单、紧凑;柔性套筒为一体化结构,避免了装配及调节过程;能调节运动套筒与柔性套筒之间的摩擦力;运动套筒能产生严格的直线运动。

    六自由度大行程无耦合大中空串并联压电微动平台

    公开(公告)号:CN109687757A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201910092067.5

    申请日:2019-01-30

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了六自由度大行程无耦合大中空串并联压电微动平台,包括底座、动台面、第二平台和第一平台;第一导向单元、第二导向单元、第三导向单元、第四导向单元、第五导向单元和第六导向单元分别顺次连接第二平台和第一平台;第一导向单元内设有第一驱动单元,第二导向单元内设有第二驱动单元,第三导向单元内设有第三驱动单元;底座设有呈矩形顺次排布且垂直伸缩作用于第二平台的第四驱动单元、第五驱动单元、第六驱动单元和第七驱动单元,第五驱动单元设于第二驱动单元的下方,第六驱动单元设于第三驱动单元的下方。本发明的优点是结构简单紧凑、工作台面大、位移行程大、无位移耦合、固有频率高、易于集成位移传感器。

    一种大量程高频响光学共焦式测头

    公开(公告)号:CN111474734B

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202010283381.4

    申请日:2020-04-13

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种大量程高频响光学共焦式测头,包括激光器、准直扩束镜组件、偏振分光棱镜组件、λ/4波片组件和物镜,偏振分光棱镜组件在反射光路方向上连有非偏振分光棱镜组件;非偏振分光棱镜组件在透射光路方向上顺次设有第一成像透镜组件、第一针孔光阑组件和第一光电探测器组件,在反射光路上顺次设有第二成像透镜组件、第二针孔光阑组件和第二光电探测器组件;此外还有第一调节机构内和第二调节机构内;λ/4波片组件和物镜之间设有活动间隙,并且配装有电容传感器;物镜配装有能带动物镜轴向移动的位移放大组件。本发明结构简单紧凑、针孔光阑与光电探测器位置易于调节、纵向测量范围大、频率响应高。

    一种大量程高频响双物镜光学独立共焦式测头

    公开(公告)号:CN111474733A

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN202010283367.4

    申请日:2020-04-13

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种大量程高频响双物镜光学独立共焦式测头,包括激光器、准直扩束镜组件、偏振分光棱镜组件、λ/4波片组件、第一物镜、第二物镜、非偏振分光棱镜组件、第一成像透镜组件、第一针孔光阑组件、第一光电探测器组件、第二成像透镜组件、第二针孔光阑组件、第二光电探测器组件、第一调节机构、第二调节机构;λ/4波片组件与两个物镜之间设有第一电容传感器、第二电容传感器;第一物镜和第二物镜配装有能分别带动两者作轴向移动的位移放大组件。本发明结构简单紧凑、针孔光阑与光电二极管位置易于调节、纵向测量范围大、频率响应高、在同一时刻可获得被测表面上某两点高度信息。

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