一种含氮小分子的应用及电镀液

    公开(公告)号:CN113430594B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202110603368.7

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本发明公开一种含氮小分子的应用及电镀液,所述含氮小分子为5‑甲基吡嗪‑2‑甲醛,将所述含氮小分子用作电镀铜整平剂。所述含氮小分子具有亲电性的C=N双键和醛基,在电镀中有利于整平剂吸附在高电流密度区域;而且,向电镀液中加入此含有C=N双键和醛基的整平剂分子,在电镀大孔径比通孔能提高TP值(深镀能力),TP值可达100%,所述含氮小分子尤其适用于用作通孔的电镀铜整平剂。

    一种含氮小分子的应用及电镀液

    公开(公告)号:CN113430594A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110603368.7

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本发明公开一种含氮小分子的应用及电镀液,所述含氮小分子为5‑甲基吡嗪‑2‑甲醛,将所述含氮小分子用作电镀铜整平剂。所述含氮小分子具有亲电性的C=N双键和醛基,在电镀中有利于整平剂吸附在高电流密度区域;而且,向电镀液中加入此含有C=N双键和醛基的整平剂分子,在电镀大孔径比通孔能提高TP值(深镀能力),TP值可达100%,所述含氮小分子尤其适用于用作通孔的电镀铜整平剂。

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