超声波单元以及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN104582586B

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201380043057.3

    申请日:2013-04-17

    Abstract: 超声波单元具备:超声波元件,在由半导体构成的基板之上形成有构成第一电容器的多个超声波构件,所述超声波构件通过将成为接地电位的上部电极与施加驱动信号的下部电极隔着腔体对置配置而成;封装部件,配设所述多个超声波元件,并成为接地电位;以及绝缘部件,配设在所述封装部件与所述超声波元件之间,通过由所述绝缘部件作为间隙而构成第二电容器,与所述第二电容器串联连接的第三电容器的电容比所述第二电容器的电容小。

    超声波单元以及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN104582586A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201380043057.3

    申请日:2013-04-17

    Abstract: 超声波单元(30)具备:超声波元件(20),在由半导体构成的基板(11)之上形成有构成第一电容器(71)的多个超声波构件(10),所述超声波构件(10)通过将成为接地电位的上部电极(16)与施加驱动信号的下部电极(12)隔着腔体(14A)对置配置而成;封装部件(60),配设所述多个超声波元件(20),并成为接地电位;以及绝缘部件(63),配设在所述封装部件(60)与所述超声波元件(20)之间,通过由所述绝缘部件(63)作为间隙而构成第二电容器(72),与所述第二电容器(72)串联连接而构成的第三电容器(73)的电容比所述第二电容器(72)的电容小。

    超声波单元以及超声波内视镜

    公开(公告)号:CN103648403B

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201280032138.9

    申请日:2012-06-18

    Abstract: 超声波单元(30)具备:超声波阵列(40),具有多个超声波元件(20),该超声波元件沿长边方向配置了超声波收发部(60)、信号电极端子52和接地电极端子(51),并具有长方形的第一主面,超声波元件(20)的各长边被连结起来;至少一根短路线(41),与多个接地电极端子51连接;接地线(43),与短路线(41)连接;多个信号线(42),分别与一个信号电极端子(52)连接,且以各信号电极端子(52)隔着长方形的收发部(60)交替地配置于长边方向的相反侧的方式,连结相邻的超声波元件(20)。

    超声波单元以及超声波内视镜

    公开(公告)号:CN103648403A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201280032138.9

    申请日:2012-06-18

    Abstract: 超声波单元(30)具备:超声波阵列(40),具有多个超声波元件(20),该超声波元件沿长边方向配置了超声波收发部(60)、信号电极端子52和接地电极端子(51),并具有长方形的第一主面,超声波元件(20)的各长边被连结起来;至少一根短路线(41),与多个接地电极端子51连接;接地线(43),与短路线(41)连接;多个信号线(42),分别与一个信号电极端子(52)连接,且以各信号电极端子(52)隔着长方形的收发部(60)交替地配置于长边方向的相反侧的方式,连结相邻的超声波元件(20)。

    超声波元件以及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN103583055B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201280026079.4

    申请日:2012-05-29

    Abstract: US元件(20)具备硅衬底(11)以及在硅衬底(11)上按顺序层叠的:下部电极层(12),具有多个下部电极部(12A)和多个下部布线部(12B),与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子(52)连接;下部绝缘层(13);形成多个空腔(14)的上部绝缘层(15);上部电极层(16),具有多个上部电极部(16A)和多个上部布线部(16B)、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子(51)连接;以及保护层(17),并且US元件(20)还具备至少在上述下部布线部(12B)的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子(53)连接的屏蔽电极部(71)。

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