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公开(公告)号：CN103429166A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201380000905.2
申请日：2013-01-18
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01S7/521 , A61B8/12 , A61B8/445 , A61B8/4494 , B06B1/02 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , H04R17/00 , H04R31/00 , Y10T29/49005
Abstract: 本实施方式的超声波振子阵列（40）包括：基板（41）；多个槽状的凹部（41A），其以规定间隔配置在基板（41）的一个面上；元件区域（31），其在基板（41）的上述一个面那一侧配置在上述凹部（41A）彼此之间；挠性膜（42），其覆盖基板（41）和元件区域（31），且脆性比上述基板（41）的脆性低；以及分割槽（28），其具有比上述凹部（41A）的宽度窄的宽度，从上述基板（41）的另一个面到达上述凹部（41A）内的挠性膜（42）。
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公开(公告)号：CN101378605B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200810134673.0
申请日：2008-08-15
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器及其制造方法、超声波诊断装置及超声波显微镜。该超声波换能器的特征在于，包括振子元件和驻极体，该振子元件具有第1电极、隔着空隙部配设于该第1电极上的第2电极，该驻极体对上述第1电极和上述第2电极之间赋予电位差，在从超声波的发送方向看时，上述驻极体的至少一部分配设在与上述振子元件不重叠的区域。
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公开(公告)号：CN103429166B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201380000905.2
申请日：2013-01-18
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01S7/521 , A61B8/12 , A61B8/445 , A61B8/4494 , B06B1/02 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , H04R17/00 , H04R31/00 , Y10T29/49005
Abstract: 本实施方式的超声波振子阵列（40）包括：基板（41）；多个槽状的凹部（41A），其以规定间隔配置在基板（41）的一个面上；元件区域（31），其在基板（41）的上述一个面那一侧配置在上述凹部（41A）彼此之间；挠性膜（42），其覆盖基板（41）和元件区域（31），且脆性比上述基板（41）的脆性低；以及分割槽（28），其具有比上述凹部（41A）的宽度窄的宽度，从上述基板（41）的另一个面到达上述凹部（41A）内的挠性膜（42）。
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公开(公告)号：CN103597855A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280029137.9
申请日：2012-05-29
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: B06B1/0622 , A61B8/12 , A61B8/445 , A61B8/4483 , B06B1/0292
Abstract: 超声波元件（20）具备：硅衬底（11）；下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；上部绝缘层（15），形成有分别小于下部电极部（12A）的多个空腔（14）；上部电极层（16），具有隔着各个空腔（14）与各个下部电极部（12A）对置配置的、比下部电极部（12A）小而比空腔（14）大的多个上部电极部（16A）、和多个上部布线部（16B），与检测电容信号的接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17）。
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公开(公告)号：CN103583055A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280026079.4
申请日：2012-05-29
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: A61B8/4483 , A61B8/12 , A61B8/445 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , H02N1/002 , H02N1/08
Abstract: US元件（20）具备硅衬底（11）以及在硅衬底（11）上按顺序层叠的：下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；形成多个空腔（14）的上部绝缘层（15）；上部电极层（16），具有多个上部电极部（16A）和多个上部布线部（16B）、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17），并且US元件（20）还具备至少在上述下部布线部（12B）的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子（53）连接的屏蔽电极部（71）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101559420B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200910133912.5
申请日：2009-04-10
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供超声波转换器以及电子设备。该超声波转换器包括超声波振子单元、第1导电层、驻极体膜、绝缘层和第2导电层；上述超声波振子单元配置在基板的一侧表面上，包括下部电极、配置在上述下部电极上的第1空隙部和配置在上述第1空隙部上的上部电极；上述第1导电层配置在上述基板的另一侧表面上，与上述下部电极和上述上部电极中的任意一个电连接；上述驻极体膜配置在上述第1导电层上；上述绝缘层配置在上述驻极体膜上；上述第2导电层配置在上述绝缘层上，与上述下部电极和上述上部电极中的、未与上述第1导电层电连接的电极电连接。
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公开(公告)号：CN101559420A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910133912.5
申请日：2009-04-10
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供超声波转换器以及电子设备。该超声波转换器包括超声波振子单元、第1导电层、驻极体膜、绝缘层和第2导电层；上述超声波振子单元配置在基板的一侧表面上，包括下部电极、配置在上述下部电极上的第1空隙部和配置在上述第1空隙部上的上部电极；上述第1导电层配置在上述基板的另一侧表面上，与上述下部电极和上述上部电极中的任意一个电连接；上述驻极体膜配置在上述第1导电层上；上述绝缘层配置在上述驻极体膜上；上述第2导电层配置在上述绝缘层上，与上述下部电极和上述上部电极中的、未与上述第1导电层电连接的电极电连接。
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公开(公告)号：CN101378605A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200810134673.0
申请日：2008-08-15
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器及其制造方法、超声波诊断装置及超声波显微镜。该超声波换能器的特征在于，包括振子元件和驻极体，该振子元件具有第1电极、隔着空隙部配设于该第1电极上的第2电极，该驻极体对上述第1电极和上述第2电极之间赋予电位差，在从超声波的发送方向看时，上述驻极体的至少一部分配设在与上述振子元件不重叠的区域。
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公开(公告)号：CN103583055B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280026079.4
申请日：2012-05-29
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: A61B8/4483 , A61B8/12 , A61B8/445 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , H02N1/002 , H02N1/08
Abstract: US元件（20）具备硅衬底（11）以及在硅衬底（11）上按顺序层叠的：下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；形成多个空腔（14）的上部绝缘层（15）；上部电极层（16），具有多个上部电极部（16A）和多个上部布线部（16B）、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17），并且US元件（20）还具备至少在上述下部布线部（12B）的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子（53）连接的屏蔽电极部（71）。
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