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公开(公告)号：CN102060193B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201010565132.0
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具备：使基板浮起的基板浮起部件；沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101366111A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200780001829.1
申请日：2007-02-01
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 中村郁三
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67748 , H01L21/67751
Abstract: 本发明涉及基板交换装置和基板处理装置以及基板检查装置，该基板交换装置将从第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并将从上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其中，该基板交换装置具备：上述第二搬送部，其能够在与上述第一基板和上述第二基板的层叠方向正交的方向上进退；支撑部件，其能够在上述基板的层叠方向上相对于上述第二搬送部进行相对移动；第一保持部，其设置于上述支撑部件上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的一方；第二保持部，其在上述支撑部件中从上述第一保持部离开预定距离而设置在上述基板的层叠方向上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，在将上述第一保持部和上述第二保持部中的一方用于从上述第一搬送部接收上述第一基板时，使上述支撑部件和上述第二搬送部进行相对移动，以将上述第一保持部和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第二基板。
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公开(公告)号：CN1608961B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200410085642.2
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 一种基板输送装置，其特征在于，具有：以非接触状态使基板(3)浮起的基板浮起部件(1、11、16)；保持在该基板浮起部件(1、11、16)上浮起的所述基板(3)的端部进行输送的输送机构；和基板支撑机构(49)，设置在与所述基板(3)的输送方向(C)正交的方向的所述基板浮起部件(1、11、16)的两侧部或接近该两侧部的位置，从下面侧支撑从所述基板浮起部件侧部(1、11、16)的两侧部在所述正交方向突出的所述基板(3)的两端部。在使基板在基板浮起部件上浮起进行输送时，可以水平地输送基板并且使其不接触基板浮起部件。
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公开(公告)号：CN1608961A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410085642.2
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 一种基板输送装置，其特征在于，具有：以非接触状态使基板(3)浮起的基板浮起部件(1、11、16)；保持在该基板浮起部件(1、11、16)上浮起的所述基板(3)的端部进行输送的输送机构；和基板支撑机构(49)，设置在与所述基板(3)的输送方向(C)正交的方向的所述基板浮起部件(1、11、16)的两侧部或接近该两侧部的位置，从下面侧支撑从所述基板浮起部件侧部(1、11、16)的两侧部在所述正交方向突出的所述基板(3)的两端部。在使基板在基板浮起部件上浮起进行输送时，可以水平地输送基板并且使其不接触基板浮起部件。
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公开(公告)号：CN102060193A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010565132.0
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具备：使基板浮起的基板浮起部件；沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。
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公开(公告)号：CN101366111B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200780001829.1
申请日：2007-02-01
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 中村郁三
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67748 , H01L21/67751
Abstract: 本发明涉及基板交换装置和基板处理装置以及基板检查装置，该基板交换装置将从第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并将从上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其中，该基板交换装置具备：上述第二搬送部，其能够在与上述第一基板和上述第二基板的层叠方向正交的方向上进退；支撑部件，其能够在上述基板的层叠方向上相对于上述第二搬送部进行相对移动；第一保持部，其设置于上述支撑部件上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的一方；第二保持部，其在上述支撑部件中从上述第一保持部离开预定距离而设置在上述基板的层叠方向上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，在将上述第一保持部和上述第二保持部中的一方用于从上述第一搬送部接收上述第一基板时，使上述支撑部件和上述第二搬送部进行相对移动，以将上述第一保持部和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第二基板。
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